We investigated cleaning effects using NH4OH solution on the surface of Cu film. A 20 nm Cu film was deposited on Ti / p-Si (100) by sputter deposition and was exposed to air for growth of the native Cu oxide. In order to remove the Cu native oxide, an NH4OH cleaning process with and without TS-40A pre-treatment was carried out. After the NH4OH cleaning without TS-40A pretreatment, the sheet resistance Rs of the Cu film and the surface morphology changed slightly(δRs:~10mΩ/sq.). On the other hand, after NH4OH cleaning with TS-40A pretreatment, the Rs of the Cu film changed abruptly (δRs:till~700mΩ/sq.); in addition, cracks showed on the surface of the Cu film. According to XPS results, Si ingredient was detected on the surface of all Cu films pretreated with TS-40A. This Si ingredient(a kind of silicate) may result from the TS-40A solution, because sodium metasilicate is included in TS-40A as an alkaline degreasing agent. Finally, we found that the NH4OH cleaning process without pretreatment using an alkaline cleanser containing a silicate ingredient is more useful at removing Cu oxides on Cu film. In addition, we found that in the NH4OH cleaning process, an alkaline cleanser like Metex TS-40A, containing sodium metasilicate, can cause cracks on the surface of Cu film.

대부분의 시설원예 농가에서 사용하고 있는 플라스틱 온실의 외부피복용 필름은 경시적 변화에 따라 광투과율이 점차 낮아져 작물의 생산성을 크게 감소시키는 원인이 된다. 최근 강도면으로는 3~5년 수명의 필름을 광투과율의 저하 때문에 매년 교체하여 경제적인 손실은 물론 폐비닐 등 환경문제의 발생도 크다. 따라서 본 연구는 플라스틱 온실의 필름을 세척함으로써 광투과율을 회복시키는 세척장치를 개발하기 위한 기초자료를 얻기 위하여 수행되었다. 본 연구의 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 플라스틱 온실의 피복재로 사용되는 필름의 광투과율은 경시적인 변화에 따라 점차 낮아져 EVA필름의 경우 설치전의 93.3%에서 10개 월이 경과하면 78.4%, 32개월 경과후에는 69.7%로 현저하게 저하된다. 2. 필름을 세척할 경우 물세척보다 세제를 사용하는 것이 5% 정도 세척효과가 좋았으며 또한 세제도 환경을 고려하여 중성세제를 사용하는 것이 바람직하다. 3. 브러쉬의 회전속도를 120rpm, 250rpm, 350rpm으로 변화시켰을 때 세제의 농도가 옅을 경우는 회전속도가 빠를수록 세척효과가 증가하나 세제의 농도가 짙을 경우는 회전속도에 따른 세척효과의 차이가 보이지 않았다. 4. 세제의 농도를 물과 1:1,000, 1:500, 1:100으로 혼합하여 사용하였을 경우 농도가 짙을수록 세척효과가 증가하는 경향을 나타내지만 1:500과 1:100의 경우 세척효과는 1% 이내로 세척효과의 차이를 보이지 않아 경제적인 면을 고려하여 1:500의 세척 농도가 적당하다고 판단된다. 5. 필름면에 접촉하는 디스크의 직경이 클수록 필름의 파괴하중은 증가하며 필름이 원상회복하는 안전하중은 36개월 사용한 EVA필름의 경우 디스크의 직경을 100mm, 200mm, 300mm로 변화시켰을 때 각각 7.5kg, 12.5kg, 20kg으로 선형적인 증가경향을 나타내며 이로써 세척장치의 한계하중을 설정할 수 있다.