Ti과 Si의 비가 서로 다른 종류의 타 을 Ar/N2의 혼합기체를 사용하여 rf magnetron sputtering방법으로 증착된 Ti-Si-N박막의 증착특성에 대해 연구하였다. Ti-Si-N박막의 조성과 증착률은 각 타 Ti/Si의 비율과 증착시의 질소기체의 유량에 따라 크게 변하였다. 이것은 Ti과 Si의 nitriding 정도의 차이로 인한 서로 다른 sputter yield에 의한 것으로 나타났다. Si이 비교적 적게 포함된 Ti-Si-N박막은 증착시부터 박막내 TiN의 결정화가 일어났으며, 낮은 비저항을 나타내었다. N의 함량의 증가는 박막의 밀도와 압축응력을 증가시켜 Ti-Si-N박막의 확산방지 능력에 큰 영향을 미치는 인자로 나타났다. 본 연구에서 N2의 유략과 타 의 Ti/Si비율을 조절함으로써 효율적인 확산방지막인 Ti-Si-N 박막의 공정조건을 확립할 수 있었다. 박막의 공정조건을 확립할 수 있었다.

최근에 고온용 항공기 구조 재료로 Ti, Zr, V, Nb 및 Ta 등의 천이금속을 첨가한 Al 합금계 제조와 특성에 관한 연구가 되어져 왔다. 본 연구에서는 Al-Nb합금에 Zr을 첨가하여 상형성거동을 연구하였다. Al-1.3at.%(Nb+Zr) 합금에서 Nb와 Zr의 원자비를 1:3, 1:1 및 3:1로 하여 기계적합금화하였다. 기계적합금화하는 동안 Al-Nb-Zr의 형태변화와 미세구조를 SEM, XRD 및 TEM으로 관찰하였다. X-선 회절 시험에 의하여 Nb2Al 과 Al3Zr4가 생성됨을 확인하였다. 500˚C에서 1시간동안의 진공열처리에 의하여 Al3Zr, Al3Zr4 등의 금속간화합물을 형성하였다. 30시간동안 기계적 합금화한 분말을 열처리하여 TEM으로 관찰한 결과 100nm 이하의 금속간화합물 입자들을 관찰하였다.

Nonpotential characteristics of magnetic fields in AR 5747 are examined using Mees Solar Observatory magnetograms taken on Oct. 20, 1989 to Oct. 22, 1989. The active region showed such violent flaring activities during the observational span that strong X-ray flares took place including a 2B/X3 flare. The magnetogram data were obtained by the Haleakala Stokes Polarimeter which provides simultaneous Stokes profiles of the Fe I doublet 6301.5 and 6302.5. A nonlinear least square method was adopted to derive the magnetic field vectors from the observed Stokes profiles and a multi-step ambiguity solution method was employed to resolve the 180° ambiguity. From the ambiguity-resolved vector magnetograms, we have derived a set of physical quantities characterizing the field configuration, which are magnetic flux, vertical current density, magnetic shear angle, angular shear, magnetic free energy density, a measure of magnetic field discontinuity MAD and linear force-free coefficient. Our results show that (1) magnetic nonpotentiality is concentrated near the inversion line in the flaring sites, (2) all the physical parameters decreased with time, which may imply that the active region was in a relaxation stage of its evolution, (3) 2-D MAD has similar patterns with other nonpotential parameters, demonstrating that it can be utilized as an useful parameter of flare producing active region, and (4) the linear force-free coefficient could be a evolutionary indicator with a merit as a global nonpotential parameter.

BCI3/H2/Ar ICP(Inductively Coupled Plasma)를 이용한 GaN이 건식식각에 있어서 공정변수들이 식각 특성에 미치는 영향을 분석하고 적정조건을 도출하였다. 연구 결과 식각속도와 측벽수직도 공히 ICP 전력, bias 전압과 BCI3 조성의 증가, 공정압력의 감소에 의해 현저히 증가하며, 온도의 증가에 따라 다소간 증가하였고, 온도의 증가에 따라 다소간 증가하였고, BCI3조성이 가장 큰 영향을 미쳤다. 표면거칠기는 bias 전압 증가에 의해 크게 향상, BCI3 조성의 감소에 따라 향상되었으며 다른 변수는 큰 영향을 미치지 않았다. 결과적으로 ICP 전력 900W, bias 전압 400V, BCI3 조성 60%, 공정압력 4mTorr의 조건에서 175nm/min 정도의 CI2 사용 시와 유사한 높은 식각속도와 평탄한 표면이 얻어졌다. Bias 전압이 낮은 경우 식각 후 시료 표면에 GaCx로 추정되는 식각부산물이 관찰되었다.

Utilizing a Calcium filter, a large two ribbon flare of an importance 2.5Xj31? was recorded at. King Abdul-Aziz University Solar Observatory (KAAUSO) at the 30th of October 1991. This chromosphenc flare observation, which is of special importance since it is rarely reported, was for a flare that occurred near the south west of the equator at the vicinity of a large sunspot group on an active region known as AR 6891. The observed foot points of this flare had a strange behavior in which the separating motion of the ribbons were not typical of most flares, rather were nearly orthogonal. In this article we present the characteristics of the main sunspot group of this active region and try to investigate its evolution and fragmentation with time. Information regarding magnetic fields and velocity fields are necessary to understand the restructuring of the magnetic field pattern and plasma motion, and hence the changes that could lead to the occurrence of such an interesting flare.

Ar/Ar-H2 플라즈마법으로 고순도 Nb금속을 환원 정련하였다. 또한, Ar-(20%)H2플라즈마에서의 용융Nb금속과 수소간의 반응을 해석하였다. Ar플라즈마 환원에서는 C/Nb2O5=5.00의 비에서 99.5wt%의 금속 Nb을 얻었으며, 니오븀 산화물의 열분해에 의한 O/Sub 2/의 손실은 발생하지 않았다. Ar-(20%)H2 플라즈마에서는 C/Nb2O5=4.80의 비에서 99.8wt%의 금속 Nb을 제조하였다. 주된 탈산반응은 H, H2와의 반응이었으며,NbOx의 증발에 의한 탈산은 발생하지 않았으나, "splash"효과에 의해 Nb의 질량손실이 발생함을 관찰하였다. 탈산반응은 1차 반응속도론에 따랐으며, 탈산의 반응속도 상수(k')는 7.8 × 10-7(m/sec)였다. Ar-(20%)H2 플라즈마법에서 Nb금속 내의 수소 용해도는 60ppm으로 분자상태 수소의 용해도인 40ppm 보다 높았으며, 포화되는 시간은 60초 이내였다. 이를 다시 Ar 플라즈마로 처리함으로써 수소 함량을 10ppm 이하로 감소시킬 수 있었다.소시킬 수 있었다.

Photoelectric observation in 1984 shows light variation outside eclipses. The effect of the changing ambient temperature on the light curves were studied. Difficulty of studying and unitary, or mean, light curve of AR Lac is stressed.