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저농도의 SF6를 포함하고 있는 기체 혼합물(10% SF6/70% N2/19% O2/1% CF4)로부터 SF6를 분리 및 회수하기 위한 PSF막과 PC막의 성능에 대하여 연구하였다. 회수된 기체 내의 SF6의 농도와 회수율 그리고 혼합기체(N2/SF6, O2/SF6, CF4/SF6)의 선택도는 배출 유량과 온도의 함수로 측정하였다. PSF막과 PC막 모두 회수된 기체 내의 SF6 농도는 배출 유량이 증가하면서 감소하였으며 온도가 증가함에 따라 증가하였다. 동일한 실험조건에서는 PSF막에서 회수된 기체 내의 SF6의 농도가 PC막에서보다 높게 나타났다. 최대회수율은 298.15 K과 배출유량 150cc/min에서 PSF막의 경우 95.9%이고 PC막의 경우 67.8%를 나타냈다. CF4/SF6를 제외한 N2/SF6와 O2/SF6의 실제 선택도는 PSF막이 PC막보다 더 높게 나타났다.
This study describes the performance of PSF and PC membranes for separation and recovery of SF6 from gas mixtures (10% SF6/70% N2/19% O2/1% CF4) containing low concentration of SF6. The SF6 concentration in retentate, recovery efficiency and selectivity of mixed gases were measured as a function of retentate flow rate and temperature. The concentration of SF6 in the gas recovered from PSF and PC membrane respectively decreased with increase of retentate flow rate and increased with increase of temperature. The values of SF6 concentration in retentate of PSF membrane were higher than those of PC membrane at constant experimental conditions. The maximum value of recovery efficiency of PSF and PC membranes are 95.9% and 67.8%, respectively, under 298.15 K and 150 cc/min of retentate flow rate. With the exception of CF4/SF6, the real selectivities of N2/SF6 and O2/SF6 at PSF membrane were higher than those of PC membrane.
