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화학증폭형 포토레지스트를 위한 새로운 방향족 산증식제로 biphenol의 p-톨루엔술폰산 에스테르에 관한 연구

p-Toluenesulfonate Esters of Biphenol as Novel Aromatic Acid

강지은, 정용석, 임권택, 정연태
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/281856
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한국화상학회지 (Journal of Korean Society for Imaging Science and Technology)
제12권 제3호 (2006.09)
pp.104-111
한국화상학회 (Korean Society for Imaging Science and Technology)
키워드
photoresistacid amplifierphotosensitivityPAG
목차
Abstract
 요 약
 1 . 서 론
 2. 본 론
 3. 결과 및 고찰
 4. 결 론
 참고문헌
저자
  • 강지은(부경대학교 화상정보공학부) | Ji Eun Kang
  • 정용석(부경대학교 화상정보공학부) | Yong Seok Jeong
  • 임권택(부경대학교 화상정보공학부) | Kwon Taek Lim
  • 정연태(부경대학교 화상정보공학부) | Yeon Tae Jeong
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