SoI-Gel법에 의한 Pb(Zr, Ti)O3박막의 강유전체 특성

고가연; 이은구; 박진성; 이종국; 이우선; 이재갑

논문 상세보기

SoI-Gel법에 의한 Pb(Zr, Ti)O3박막의 강유전체 특성 KCI 등재 SCOPUS

Ferroelectric Properties of Sol-Gel Derived pb(Zr,Ti)O3Thin Films

고가연, 이은구, 박진성, 이종국, 이우선, 이재갑

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295184

구독 기관 인증 시 무료 이용이 가능합니다. 4,000원

한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제7권 제6호 (1997.06)
pp.479-483

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

Sol-gel법으로 제작한 여러 종류의 Zr/Ti비율을 갖고 있는 PZT박막의 전지적 특성과 신뢰성 특성을 상부 백금 전극을 sputtering으로 증착하고 Ar 기체로 반응성 이온 식각(RIE)방법으로 패턴을 형성한 후 열처리온도의 변화에 따라 조사하였다. Hysteresis loop특성을 되찾게 하였다. Zr/Ti 비율이 감소함에 따라 voltage shift가 증가하였으며 internal field가 없어지는 열처리 온도가 증가하였다. Zr/Ti비율이 감소함에 따라 초기 잔류 분극은 증가하였으나 switching 횟수가 증가됨에 따라 잔류 분극이 급속히 감소하였다.

저자

고가연 | Go, Ga-Yeon
이은구 | 이은구
박진성 | 박진성
이종국 | 이종국
이우선 | 이우선
이재갑 | 이재갑

같은 권호 다른 논문