RF-magnetron Sputtering Process를 이용한 a-축 우선 배향된 PLZT(x/0/100)박막의 제조

조상; 김동범; 노광수; 강승국; 박명식

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RF-magnetron Sputtering Process를 이용한 a-축 우선 배향된 PLZT(x/0/100)박막의 제조 KCI 등재 SCOPUS

Characterization and Preparation of a-axis Preferred Oriented PLZT(x/0/100) Thin Films Deposited by RF-magnetron Sputtering Process

박명식, 강승국, 노광수, 김동범, 조상

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295191

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제7권 제6호 (1997.06)
pp.522-528

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

RF-magnetron Sputtering Process를 이용하여 Pt/Ti/Si(100)기판위에 lanthanum-modified lead titanate 박막을 제작하였다. 기판온도와 증착시간이 증가함에 따라 증착율은 감소하였다. 기판온도가 증가함에 따라 fine grain들은 large grain으로 변화하였다. Perovskite구조는 기판온도 540˚C, gas pressure 30mtorr에서 나타나기 시작하였다. 본 실험에서 perovskite 박막제작에 대한 조건은 기판온도 580˚C, gas pressure 30mtorr였다. Pt/Ti/Si(100) 우선 배향된 박막을 얻었다. La양이 증가함에 따라 유전율, 항전계, 잔류분극량은 증가하였다. 중심주파수가 44.7MHz, 전파속도는 2680m/sec를 가지는 SAW filter 특성을 얻었다.

키워드

lanthanum-modified lead titanate rf-magnetron sputtering process Surface Acoustic Wave filter

저자

조상 | 조상
김동범 | 김동범
노광수 | 노광수
강승국 | 강승국
박명식 | Park, Myeong-Sik

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