Bonded SOI wafer의 top Si과 buried oxide layer의 결함에 대한 연구

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Characteristic Study for Defect of Top Si and Buried Oxide Layer on the Bonded SOI Wafer

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

SOI TD PSF Cu-decoration FIB

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