세정액에 따른 실리콘 웨이퍼의 Cu 및 Fe 불순물 제거 - koreascholar

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세정액에 따른 실리콘 웨이퍼의 Cu 및 Fe 불순물 제거 KCI 등재 SCOPUS

Removal of Cu and Fe Impurities on Silicon Wafers from Cleaning Solutions

김인정, 배소익

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296561

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제16권 제2호 (2006.02)
pp.80-84

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

cleaning solution metal contamination silicon wafer Pourbaix diagram

저자

김인정 | Kim, In-Jung
배소익 | 배소익

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