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3축 전자동 Wafer 및 LCD 균일 분포도 표면측정 시스템 설계

Design of 3-axis electro-motor Wafer and LCD Uniform Distribution Surface Measurement System

박준형, 안민혁, 이재현, 이준석, 이정익
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/370091
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한국기계기술학회 학술대회논문집 (Proceedings of KSMT Annual Meeting)
2018년도 한국기계기술학회 추계학술발표회 논문집 (2018.11)
p.63
한국기계기술학회 (Korean Society of Mechanical Technology)
키워드
3-axis surface resistance3축 표면 저항Measure측정Output data출력 데이터Charge Couple Device CameraCCD 카메라
목차
1. 과제개발의 목적 및 필요성
 2. 개념설계 및 상세설계
 3. 기구물 설계도면과 기구물의 결합된 설계도면
 4. 결론
저자
  • 박준형(인하공업전문대학 기계설계과) | J H. Park
  • 안민혁 | M. H. Ahn
  • 이재현 | J. H. Lee
  • 이준석 | J. S. Lee
  • 이정익(인하공업전문대학 기계설계과) | J. I. Lee
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