대향타겟트형 스파터기에서 BaO-l2Fe 복합타겟트를 사용하고 50% O2+Ar 스파터가스를 사용한 반응성 프라즈마를 스펙트로스포프법으로 검진하였다. 프라즈마의 스펙트럼은 Ba, Ba+, Fe, FeO, Fe+, Ar, Ar+, O, O+의 피크로 이루어져 있었으며 타겟트로 부터 멀어짐에 따라 이온의 상대강도는 중성원소의 그것에 비하여 더 감소하였다.