As the limitations of Moore’s Law become evident, there has been growing interest in advanced packaging technologies. Among various 3D packaging techniques, Cu-SiO2 hybrid bonding has gained attention in heterogeneous devices. However, certain issues, such as its high-temperature processing conditions and copper oxidation, can affect electrical properties and mechanical reliability. Therefore, we studied depositing only a heterometal on top of the Cu in Cu-SiO2 composite substrates to prevent copper surface oxidation and to lower bonding process temperature. The heterometal needs to be deposited as an ultra-thin layer of less than 10 nm, for copper diffusion. We established the process conditions for depositing a Co film using a Co(EtCp)2 precursor and utilizing plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD), which allows for precise atomic level thickness control. In addition, we attempted to use a growth inhibitor by growing a self-assembled monolayer (SAM) material, octadecyltrichlorosilane (ODTS), on a SiO2 substrate to selectively suppress the growth of Co film. We compared the growth behavior of the Co film under various PEALD process conditions and examined their selectivity based on the ODTS growth time.

산림휴양과 숲체험을 위하여 진주시 근교에 위치한 월아산에 도시숲 프로그램을 제안하고자 하였다. 이를 위해 대상지의 현황 및 역사 등 을 분석하였고, 지역주민을 대상으로 인식과 선호도에 관하여 설문조사 및 통계분석을 실시하였다. 현황분석에서 대상지는 관리부실로 낙 후된 숲 시설, 프로그램 등의 문제점을 파악할 수 있었고, 인접한 진주 혁신도시 인구증가로 인하여 휴게시설 증설이 필요할 것으로 예측되 었다. 설문분석에서 최근까지 월아산 이용목적은 운동 및 산책이며, 주로 가족단위로 자가용을 이용해 찾아오지만 이용빈도는 연중 1~2회 로 낮은 비율을 보였다. 현황 및 설문 분석을 종합하여 도시숲 프로그램 계획에서 3E라는 개념을 설정하였다. 3E는 Experimental(체험할 수 있는 공간), Everlasting(역사를 지닌 공간), Emblematic(상징적인 공간)로 구분하여 정의될 수 있다. 그 개념을 대상지에서 구현하기 위 해서 먼저 낙후된 산림욕장, 청곡사 주변부지, 장군대봉 등을 연결하는 통로를 정비하고 휴게시설을 조성하여 통행 및 휴식의 매력과 이용 편리를 개선하고, 그와 같은 조건에서 방문객을 유인할 수 있는 프로그램 계획하였다. 프로그램 계획의 주요한 특징은 세 가지로 구분할 수 있다. 첫째, 삼림욕장에 학습장을 조성하고 숲 교육 프로그램을 도입하고, 산책로를 건강 및 휴식을 위한 힐링 숲길로 조성하고 산책, 휴식, 자연학습 등의 숲 체험 프로그램을 도입한다. 둘째, 역사 및 문화자원인 청곡사 및 그 주변을 그 맥락에 부합하도록 정비하고 청곡사와 학영 지를 연결하는 학영지의 이름을 딴 학영로라는 역사 및 문화 산책로를 조성하여 역사 및 문화 스토리텔링 프로그램을 도입한다. 부가적으 로 청곡사와 휴게공간 사이의 연결성을 확보하여 기존의 산책 및 운동을 위한 통로에 역사, 휴식 등의 기능을 부여하여 잠재적으로 다양하 고 풍부한 프로그램을 수용할 수 있도록 한다. 마지막으로 상징적인 공간인 장군대봉 주변 부지에서 월아산 정상부로 월아산 이름의 유래 에서 모티브를 얻은 달을 형상화한 조형물을 랜드마크(landmark)로서 설치한다. 이를 통해 등산을 위해 산을 오를 뿐만 아니라 색다른 볼 거리를 즐기기 위해 산을 오르게 함으로써 더 많은 방문객을 유인할 수 있도록 한다.