본 연구개발은 기존 화학공정에서 발생되는 수소(H2), 암모니아(NH3), 저메인(GeH4) 및 DCS(SiH2CL2) 등의 폭발성 가스를 플라즈마 기술을 적용한 에너지 회수형 건식 소각 방식을 이용한 기술로서 플라즈마에 소비되는 에너지를 전력량, 에너지 회수, 축열 등의 방법을 통하여 경제적이며, 효율적인 처리 기술에 대한 연구를 수행하였다. 플라즈마 열 회수는 배출되는 열에너지를 회수하여 재투입하고 연소로 내부에 축열을 통한 효율증가 등의 방법으로 폭발성 가스의 처리효율 및 에너지 절감효과를 파악하였다. 본 연구결과 상기 가스의 대부분에서 99% 이상의 처리효율을 나타내었다.