본 연구에서는 배가스 내 존재하는 오염물질인 NO의 처리효율을 증대시키기 위하여 NO 산화 공정을 연구하였으며, 강력한 산화력의 건식산화제를 제조하는 방법으로 H2O2 촉매분해가 도입되었다. H2O2 분해공정 상에서 적용 가능한 K-Mn/Fe2O3 불균일계 촉매가 제조되었으며, 이들이 가지는 물리화학 적 특성이 H2O2 분해반응에 미치는 영향이 조사되었다. 제조된 건식산화제는 NO가 포함된 모사 배가스를 처리하기 위한 NO 산화공정에 적용되었으며, 다양한 모사 배가스의 유량(5, 10, 20 L/min)에서 약 100% 가까운 NO 전환율을 확인 하였다.

본 연구개발은 기존 화학공정에서 발생되는 수소(H2), 암모니아(NH3), 저메인(GeH4) 및 DCS(SiH2CL2) 등의 폭발성 가스를 플라즈마 기술을 적용한 에너지 회수형 건식 소각 방식을 이용한 기술로서 플라즈마에 소비되는 에너지를 전력량, 에너지 회수, 축열 등의 방법을 통하여 경제적이며, 효율적인 처리 기술에 대한 연구를 수행하였다. 플라즈마 열 회수는 배출되는 열에너지를 회수하여 재투입하고 연소로 내부에 축열을 통한 효율증가 등의 방법으로 폭발성 가스의 처리효율 및 에너지 절감효과를 파악하였다. 본 연구결과 상기 가스의 대부분에서 99% 이상의 처리효율을 나타내었다.