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반도체 공장 내의 클린룸에 사용되는 재료에 대한 연소 특성 연구

A Study on the Combustion Characteristics of Clean Room Material for Semiconductor Industry

  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/303987
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한국방재학회 (Korean Society Of Hazard Mitigation)
초록

건축물에서 사용되고 있는 건축 재료의 연소 특성 예측 및 성능 분류는 국내의 경우, 콘칼로리미터 시험 방법 등을 적용하여 건축법에서 불연/준불연/난연으로 구분하고 있다. 하지만 반도체 공정에서 사용되고 있는 고분자 재료 등에서는 이러한 열량 측정과 가스유해성 평가로는 정확한 연소 특성을 판단하기 어렵다. 건축물에서 화재위험성을 예측하고 대비하기 위해서는 사용되고 있는 재료에 대한 연소 특성 분석이 선행되어야 하며, 이를 위해서 재료가 연소되면서 발생되는 열량의 크기를 기본으로 하여 재료에 대한 연소 특성 예측 및 연소 성능 분류를 실시하고 있다. 하지만 점차 건축물에서는 다양한 재료가 사용되고 있고 이러한 재료에 대한 화재위험성은 열량 크기의 측정만으로는 한계를 가진다. 특히 플라스틱 재품은 발생되는 열량은 작지만 재료가 녹으면서 발생되는 가스 및 인접 재료에 대한 화재전파의 위험성을 높게 나타나고 있지만 현재 국내에서는 이러한 위험성을 예측할 수 있는 기준 및 시험방법이 미비한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 FM 4910 시험 기준에 의해서 클린룸에서 사용되는 재료에 대한 연소특성을 예측하고 이를 토대로 하여 제시될 수 있는 연소 성능 기준에 대해 분석해 보고자 하였다.

저자
  • 권오상 | Kweon, Oh-Sang
  • 김흥열 | Kim, Heung-Youl
  • 채승언 | Chae, Seung-Un