The deposition process for the gap-filling of sub-micrometer trenches using DMDMOS, (CH3)2Si(OCH3)2, and CxHyOz by flowable chemical vapor deposition (F-CVD) is presented. We obtained low-k films that possess superior gap-filling properties on trench patterns without voids or delamination. The newly developed technique for the gap-filling of submicrometer features will have a great impact on IMD and STI for the next generation of microelectronic devices. Moreover, this bottom up gap-fill mode is expected to be universal in other chemical vapor deposition systems.

A multi-step deposition process for the gap-filling of submicrometer trenches using dimethyldimethoxysilane (DMDMOS), (CH3)2Si(OCH3)2, and CxHyOz by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is presented. The multistep process consisted of pre-treatment, deposition, and post-treatment in each deposition step. We obtained low-k films with superior gap-filling properties on the trench patterns without voids or delamination. The newly developed technique for the gapfilling of submicrometer features will have a great impact on inter metal dielectric (IMD) and shallow trench isolation (STI) processes for the next generation of microelectronic devices. Moreover, this bottom up gap-fill mode is expected to be universally for other chemical vapor deposition systems.

이 논문은 아베 내각이 2006년 ｢개정 교육법｣이래로 2018년 ｢고교 학습지도요령｣을 공포할 때까지 시행해 온 영토교육을 분석하고자 하였다. 그리고 분석의 주 대상은 『학습지 도요령』과 『학습지도요령해설』에 있는 영토교육 관련 내용들이다. 아베 내각은 ‘일본의 교육 재생(再生)’을 위해 ‘평화헌법에 기초한 ｢구 교육기본법｣을 개정’하고, ‘공공 정신 존중과 전통 계승’을 교육의 주요한 목표로서 설정하였다. 그리하여 아베 내각은 일본교육정책을 국가주의적이고 우경화적인 방향으로 이끌어 갈 수 있는 법적 정당성을 마련하였다. 아베 내각은 ｢교육기본법｣을 개정한 2년 후 ‘일본 교육 재생’이라는 기치 아래 ｢교육진흥기본계획｣을 수립한다. 이 계획에 따라 일본의 왜곡된 영토 교육도 강화되어 간다. ｢교육진흥기본계획｣제1기(2008~2012)에 개정된 『학습지도요령 및 해설 ｣에서는 ‘독도의 일본 영유권’을 직접 명기가 아닌 간접적인 방식으로 주장하고 있었다. 다음으로 ｢교육진흥기본계획｣제2기(2013~2017)에 들어서자 ‘독도라는 표현을 직접 명 기’하여 영토교육을 통해 애국심 강화를 극대화하려는 방식을 취하고, ｢2014 중⋅고등학 교 학습지도요령 해설｣에 ‘독도와 관련한 3가지 영토교육 논리’를 명기한다. 마지막 ｢교육 진흥기본계획｣제3기(2018~2022)에 공포된 『2017 소⋅중학교 학습지도요령』과 ｢2018 고등학교 학습지도요령｣에 ‘독도와 관련한 3가지 영토교육 논리’를 고스란히 명기한다. 그 리하여 일본 내 고등학교 이하의 모든 학생들이 ‘독도와 관련한 왜곡된 교육’을 반드시 받아야 하는 상황이 되었다. 이 ‘독도와 관련한 3가지 영토교육 논리’는 심각한 논리적 모순을 지니고 있으며, 이 모순을 차치하더라도 그 논리는 사실이 아니다. 왜냐하면 독도는 지리적, 역사적, 국제법적으로 명백한 우리 대한민국의 영토이기 때문이다. 현재 일본에서 진행되는 영토교육은 왜곡된 것이며, 아베 내각의 ‘국가주의적이고 군국주의적인 행보’를 도와주는 장치일 뿐이다.