목 적 : 슬릿 램프용 450nm~500nm 대역 투과필터를 제작하고, 이에 관한 특성 연구를 하였다. 방 법 : 대역 투과필터 설계 시 장파장 투과필터와 단파장 투과필터를 설계한 후 합성하였다. 설계 데이 터를 기반으로 전자 빔 증착 장치를 사용하여 장파장 투과필터와 단파장 투과필터와 슬릿 램프용 450nm~500nm 대역 투과필터를 제작하였다. 제작한 필터의 단면을 보기 위하여 SEM사진을 찍었고, 필터 의 광투과율을 측정하기 위해 분광광도계를 사용하였다. 결 과 : 제작한 단파장 투과필터는 설계치와 비슷하나 파장 490nm 근처와 350nm~400nm에서 차이가 난다. 이는 층 수 가 커짐에 따라 박막의 균일도가 안 좋아져서 필터의 굴절률에 약간 변화를 주어 투과율 스펙트럼의 경사도가 큰 부분에서 차이가 나는 것으로 여겨진다. 제작된 장파장 투과필터는 설계치의 비슷 하며 실험치가 전체적으로 오른쪽으로 약간 이동됨을 알 수 있다. 그러므로 제작한 450nm~500nm 대역 투 과필터는 450nm에서는 장파장 투과필터의 오른쪽 이동으로 인해 설계된 대역 투과필터 안쪽으로 들어가고 500nm에서는 투과율이 약 20% 떨어지는 것을 알 수 있었다. 또한 제작한 필터의 단면은 SEM사진으로부터 단파장 투과필터와 장파장 투과필터의 두께를 알 수 있었다. 결 론 : BK7 유리 한 면에는 단파장 투과필터를 제작하고 다른 한 면에는 장파장 투과필터를 제작하여 450nm~500nm 대역 투과필터를 만들었고, 이 필터를 사용하여 눈의 건조 상태나 콘택트렌즈와 각막 틈새 를 파악할 때 관찰고자 하는 부위의 명도대비를 높이고자 한다.
목 적: TiO2와 SiO2를 이용한 다층막 코팅으로 슬릿 램프용 450nm~500nm 대역 투과 필터와 500nm~580nm 대역 투과 필터를 설계하였다.
방 법: TiO2와 SiO2의 광학상수를 포락선 방법으로 구한 후, 그 값을 이용하여 450nm~500nm 대역 투 과 필터와 500nm~580nm 대역 투과 필터를 설계하였는데, 두 개의 대역 투과 필터 설계 시 각각의 필터에 서 장파장 투과 필터와 단파장 투과 필터를 설계한 후 합성하였다.
결 과: 450nm~500nm 대역 투과 필터 설계에서 400nm~500nm 단파장 투과 필터는 고 굴절률 층인 TiO2와 저 굴절률 층인 SiO2가 교번으로 30층 구조를 가지고 총 두께는 2273nm이며, 450nm~700nm 장파 장 투과 필터는 TiO2와 SiO2가 교번으로 22층 구조를 가지고 총 두께는 1149nm이다. 또한 500nm~580nm 대역 투과 필터 설계에서 400nm~580nm 단파장 투과 필터는 TiO2와 SiO2가 교번으로 24층 구조를 가지고 총 두께가 2284nm이며, 500nm~700nm 장파장 투과 필터는 TiO2와 SiO2가 교번으로 34층 구조를 가지고 총 두께는 2016nm이다.
결 론: 450nm~500nm 대역 투과 필터와 500nm~580nm 대역 투과 필터를 설계하였는데, 이 두 가지의 필터를 현재 슬릿 램프에 있는 코발트블루 필터와 옐로우 필터 대신 사용하여 플루레신 관찰 시 명도대비를 크게 하려고 한다.
목적: Al2O3 기판위에 Ge/ZnS 다층박막을 이용하여 중심파장 3450nm에서 반치폭이 약 150nm이고 투과율이 약 95%인 중 적외선 투과필터를 제작하고, 이 필터의 박막 특성을 연구하였다. 방법: 설계에 있어 기판의 한 면은 장파장 투과 필터로,다른 면은 단파장 투과 필터로 코팅한 후 한개의 기판을 중심으로 전면에는 장파장 투과 필터를 후면에는 단파장 투과 필터를 합성하여 중적외선 대역투과 필터를 설계하였다.또한 전자빔 증착장비를 이용하여Ge/ZnS 다층박막 중적외선 대역 투과 필터를 제작한 후, FTIR을 이용하여 투과율을 측정하였고, XRD 데이타로부터 박막의 구조를 분석하였으며, XPS분석으로부터 박막 성분을 확인하였다. 결과: 장파장 투과 필터는 기준파장 2700nm에서 [air/0.490H 0.904L 0.952H 1.086L 1.747H 0.489L (HL)9 H 0.350L 1.616H/Al2O3 substrate]와 같이 설계되었으며, 이때 고굴절률(H)과 저굴절률(L) 물질은 각각 Ge과 ZnS이였다. 또한 단파장 투과필터는 기준파장 4200nm에서 [air/1.261H (LH)7 0.921L 1.306H/Al2O3 substrate]와 같이 설계되었으며, 고굴절률 물질과 저굴절률 물질은 장파장 투과필터와 동일하였다. 설계를 바탕으로 제작한 적외선 투과 필터의 최대파장피크가 제작조건의 변화에 의거하여 이론치에 비해 약 30nm 오른쪽 이동되어 있는 것을 확인하였다. 제작된 필터의 ZnS층이 cubic (111) 결정구조를 가지고 있는 것을 XRD분석으로 확인하였으며, XPS분석에 의해 Ge층이 맨 위층이며 ZnS층과 교번인 다층막으로 형성돼 있다는 것을 확인할 수 있었다. 결론: Al2O3 기판위에 Ge와 ZnS를 교번으로, 한 면은 27층의 장파장 투과필터로 구성되고, 다른 면은 17층의 단파장 투과 필터의 다층박막을 제작하여, 3450nm 중심파장에서 150nm 반치폭을 갖으며 투과율은 약 95%인 중적외선 대역 투과 필터를 제작하였다.