A multi-step deposition process for the gap-filling of submicrometer trenches using dimethyldimethoxysilane (DMDMOS), (CH3)2Si(OCH3)2, and CxHyOz by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is presented. The multistep process consisted of pre-treatment, deposition, and post-treatment in each deposition step. We obtained low-k films with superior gap-filling properties on the trench patterns without voids or delamination. The newly developed technique for the gapfilling of submicrometer features will have a great impact on inter metal dielectric (IMD) and shallow trench isolation (STI) processes for the next generation of microelectronic devices. Moreover, this bottom up gap-fill mode is expected to be universally for other chemical vapor deposition systems.

This paper explores Korean EFL students’ test-taking strategy use in gap-filling inference items of the College Scholastic Aptitude Test (CSAT) through retrospective think-aloud protocols. Eight college freshmen participated in this study, and verbally reported the process of answering three gap-filling inference items in their L1. Students with higher proficiency levels tended to use language learner strategies with more variety, while students of lower levels often relied on familiar words and distractors as avoidance strategies. Also, the position of the gap in each item had an effect on the order and portions of reading. Unusual reading patterns were more frequently found from those who checked the gap first, when the gap was located in the middle or at the end of the passage. To foster positive washback effect of the test items on learning, this paper suggests that teachers encourage students to effectively employ language learner strategies in order to comprehend the text rather than rely on test-wiseness.

전 세계 여러 플럭스네트워크에서 적용되는 에디공분산 기법은 지표와 대기간의 에너지 및 물질의 순환을 모니터링하기 위한 하나의 방법으로서, 기후변화에 따라 가속화 되고 있는 수문학적 인자(증발산 등)의 변화양상을 연구하는 데 유용하게 쓰인다. 그러나 에디공분산 기법은 기본적인 여러 가정 사항(균질한 표면, 난류장 발달, 정상성 등)을 내포하고 있으며, 실제 환경에서 이와 같은 조건을 모두 충족시키기는 어렵기 때문에 불확실성이 내포되어 있다. 따라서 측정된 자료에 관한 품질관리 수행이 필수적이며, 이를 통한 보다 양질의 자료 생산이 가능하다. 30분 단위로 제공되는 플럭스타워 증발산 자료는 월 평균 약 10% 내외의 결측자료가 발생하는 것으로 알려져 있으며 품질관리에는 결측자료에 관한 보충작업(Gap-filling)이 포함되어야 한다. 세계 여러 플럭스 네트워크에서는 결측자료 보충 방법에 관한 여러 연구가 현재 진행 중에 있으며, 이중에는 주로 미기상학적 인자를 활용한 대체증발산 산정 방법이 채택되기도 한다. 본 연구에서는 국토해양부의 기초 수문자료 구축사업 일환인 KoFlux 네트워크의 설마천(혼효림), 청미천(농경지) 관측지에서 측정된 증발산자료 관한 품질관리를 수행하였으며, Food and Agriculture Organization(FAO)에서 제시한 FAO-56 Penman-Monteith(FAO-PM) 방법을 활용하여 대체증발산 산정하여 결측자료 보충에 관한 연구를 실시하였다. 두 관측지의 미기상학적 인자를 활용하여 FAO-PM 방법에 적용한 결과, 에디공분산 기법으로 산정된 증발산 자료와의 경향성이 뚜렷하였으며 이를 통해 결측자료 보충 방법으로서의 활용 가능성에 대해 파악할 수 있었다.