본 연구에서는 막증류법에서 문제가 되는 젖음 현상을 방지하기 위한 방법으로서, 멤브레인 표면의 화학적 결합을 통해 멤브레인의 소수성을 향상시키고 그에 따른 영향을 확인하고자 한다. 중공사 표면에 pentafluorostyrene을 라디칼합성 방법을 통해 개질하여 소수성을 증가시켰다. 합성 시간에 따른 영향을 확인하기 위하여 15, 20, 25시간 동안 합성하여 개질 하였고, 막의 접촉각과 liquid entry pressure (LEP)를 통해 소수성 증가를 확인하였다. 이후 vacuum membrane distillation (VMD)을 통해 실제 운전에서 앞선 합성이 막의 성능에 미치는 영향을 확인하였다.

이 연구의 목적은 폴리머의 물리적, 화학적 방법을 통해 막증류 법에 사용되는 막의 소수성 향상시킴으로써 막의 젖음 현상을 개선하는 것을 목표로 한다. 막의 소수성을 향상시키기 위해, 폴리머에 소수성을 향상 시켜줄 수 있는 시약 을 화학적 결합 또는 물리적 섞음 방법을 통해 개질을 한다. 화학적 결합으로는 styrene, pentafluorostyrene 등을 ATRP(atom transfer radical polimerization)를 통해 합성하고, 물리적 섞음으로는 PTFE(poly tetra fluoro ethylene)을 섞어 준비하였다. 두 방법 모두 평막을 제조하여 ft-ir로 결과를 확인하였고, 접촉각을 측정해 소수성을 평가하는 것으로 폴리머의 소수성 향상 여부를 확인하였다.

이 연구의 목적은 폴리머의 물리적 혼합 또는 화학적 합성 방법을 통해 막증류 법에 사용되는 막의 소수성을 변화시킴으로써 막증류법의 수투과도 변화를 측정 하고자 한다. 막의 소수성을 향상시키기 위해, 물리적 혼합 방법으로 PTFE 을 섞어 준비하였고, 화학적 결합 방법으로는 Styrene, pentafluorostyrene 등을 ATRP 방법을 통해 합성하여 막을 준비하고, 그에 따른 화학적 구조를 FT-IR로 확인하였다. 두 방법을 통해 준비된 중공사 막을 MD에 적용하였을 때 순수 막과 비교하여 소수성 및 성능의 향상 여부를 확인하였다.

이 연구의 목적은 폴리머 자체의 개질을 통하여 막증류 법에 사용되는 막의 소수성 향상으로 막의 젖음 현상을 줄이는 것을 목표로 한다. 막의 소수성을 향상시키기 위해, 현재 일반적으로 쓰이는 폴리머(PVC, PVDF 등)에 소수성을 향상 시켜줄 수 있는 branch를 붙이는 방법으로 개질을 한다. Branch로는 styrene, pentafluorostyrene 등을 ATRP(atom transfer radical polimerization)를 통해 폴리머를 합성하고 ft-ir로 성공적으로 개질한 것을 확인하였다. 그 후, 평막 형태로 제막하여 접촉각을 측정해 소수성을 평가하는 것으로 폴리머의 소수성 향상 여부를 확인하였다.

본 연구에서는 반도체 소자의 수율을 현저히 저하시키는 반도체 습식 세정 시 건조 후 웨이퍼 표면에 형성된 water mark의생성 원인을 고찰하였다. 이를 위해 초순수수의 물방울을 다른 접촉각의 시편 위에 고의로 잔류시킨 후 질소 및 산소 분위기에서 건조시켰다. 건조 분위기와 상관없이 HF 처리된 소수성의시편 뿐만 아니라 친수성의 시편에서도 water mark이 관찰되었다. 생성된 water mark의 크기는 분위기에 무관하게 접촉각이 증가함에 따라 감소하였다. 그러나 산소 분위기에서 HF처리된 시편은 건조 후 질소 분위기에서 생성된 water mark의 크기보다 2배이상 크게 형성되었다. 이들 산소 및 질소 분위기에서 HF 처리된 실리콘 시편 위에 생성된 water mark의 성분을 AES(Auger Electron Spectroscopy)로 분석한 결과 water mark는 실리콘과 산소의 화합물 형태로 존재함을 확인하였다. AAS(Atomic Absorption Spectroscopy)분석 결과 건조 분위기에 상관 없이 HF처리된 실리콘 시편 위에 물방울을 30분 잔류시 물방울 내의 실리콘 농도가 증가하였다. 또한 물방울내 ozone을 첨가하여 실리콘 표면을 산화 시켰을 때 물방울과 표면의 접촉각 감소와 water mark의크기의 증가를 초래하였다.

This paper discussed effect of the surface roughness and the hydrophobicity of support material on the microbial attachment in a rotating biological contactor. The hydrophobicity of each support material was determined by the measurement of contact angle of water and the surface roughness was measured by the surface roughness instrument. Microorganisms have well attached on the surface of more hydrophilic support material like Nylon6 than that of the hydrophobic support material like PE. When the relatively hydrophilic surface was roughen, the microbial attachment was increased but when the relatively hydrophobic surface was roughen, the attachment was slightly increased because the hydrophobicity of support material was increased by roughening the hydrophobic surface. Although both variables, the surface hydrophobicity and the surface roughness, have influenced the microbial attachment, the influence of the surface roughness overruled that of the surface hydrophobicity. Support material whose surfaces were roughened about l㎛, 6㎛ and 11㎛ were allowed for attached 3, 7 and 24hr, but the differences of maximum and minimum attachment of each material gave nearly constant values and similar trend with time.