In-situ carbon-coated tin oxide (ISCC-SnO2) was fabricated by colloidal processing and sucrose was used as a soluble carbon source. ISCC-SnO2 was characterized by X-ray diffraction (XRD), Raman spectroscopy, and nitrogen adsorption–desorption by BET methods, scanning electron microscopy (SEM) and transmission electron microscopy (TEM). Cyclic voltammetry (CV) and galvanostatic charge–discharge (GCD) properties of ISCC-SnO2 were investigated in 1 M Na2SO4 solution. The specific capacitance of ISCC-SnO2 was achieved 42.7 mFcm−2 at a scan rate of 25 mVs−1 and showed excellent charge–discharge behavior.

RuO2 박막을 전극으로 하여 Pt/Ti/Si 기판 위에 RuO2 /LiPON/RuO2의 다층 구조로 이루어진 전고상의 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터를 제작하였다. 전극용 RuO2박막은 반응성 dc 마그네트론 스퍼터를 이용하여 O2/[Ar+O2]비를 증가시키며 성장시켰고, 비정질 LiPON 고체전해질 박막은 순수한 질소분위기 하에서 rf 스퍼터링으로 성장시켰다. 상온에서의 충-방전 측정을 통해 RuO2 박막의 미세구조에 따라 슈퍼캐패시터의 사이클 특성이 영향을 받는 것을 알 수 있었다. Glancing angle x-ray diffraction(GXRD)과 transmission electron microscopy (TEM) 분석을 통해 산소 유량의 증가가 RuO2박막의 미세 구조의 영향을 주는 것을 알 수 있었고, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 분석을 통해 산소 유량 비의 증가가 Ru과 산소간의 결합에도 영향을 줌을 알 수 있었다. 또한 사이클 후 슈퍼캐패시터의 TEM 및 AES depth profiling 분석을 통해, 충-방전 시 RuO2와 LiPON과의 계면반응에 의해 형성된 계면 층이 사이클 특성에 영향을 줌을 알 수 있었다.