Scanning probe microscopy (SPM) has become an indispensable tool in efforts to develop the next generation of nanoelectronic devices, given its achievable nanometer spatial resolution and highly versatile ability to measure a variety of properties. Recently a new scanning probe microscope was developed to overcome the tip degradation problem of the classic SPM. The main advantage of this new method, called Reverse tip sample (RTS) SPM, is that a single tip can be replaced by a chip containing hundreds to thousands of tips. Generally for use in RTS SPM, pyramid-shaped diamond tips are made by molding on a silicon substrate. Combining RTS SPM with Scanning spreading resistance microscopy (SSRM) using the diamond tip offers the potential to perform 3D profiling of semiconductor materials. However, damage frequently occurs to the completed tips because of the complex manufacturing process. In this work, we design, fabricate, and evaluate an RTS tip chip prototype to simplify the complex manufacturing process, prevent tip damage, and shorten manufacturing time.

본 논문에서는 정부 기업지원 사업이 기업성장에 미치는 영향을 분석하였으며, 정부지원 활동에 성장단계를 조절 변수로 활용하여 기업의 재무적 성과 또는 비재무적 성과에 미치는 영향을 실증분석하였다. 그 결과 정부 기업 지원은 재무적 성과, 비재무적 성과, 정부지원 활용에 유의적 영향을 미쳤 으며, 성장단계의 조절 효과의 경우 재무적 성과 및 비재무적 성과 모두에 정(+)의 영향을 미치는 것으로 분석 되었다. 연구결과를 종합하면, 정부 기업지원은 기업의 성과에 긍정적 영향을 미치며, 성장단계는 재무적 성과 및 비재무적 성과 모두에 정(+)의 효과가 있으며, 재무적 성과에 미치는 영향이 더욱 큰 것으로 나타났다. 이에 각 기업의 성장단계에 맞추어 정부 지원사업을 지원하여야 하며, 그중 쇠퇴기에 기업은 산업분야 및 기업분석을 통하여 기업의 상태에 맞추어 지원하는 맞춤형 지원을 수행할 필요가 있으며 정부 기업지원 사업의 효율성을 개선하는데 의미가 있을 것으로 기대된다.