반사형 테라헤르츠 시스템의 시간 영역 분광을 이용하여 테라헤르츠 time-of-flight 단층 촬영이 시도되었다. 표면이 균일한 샘플일 경우, 동일한 시간 지연에 대한 2차원 평면 단층 영상을 얻을 수 있다. 한 픽셀에서의 최고점의 시간 인덱스로 구성한 2차원 깊이 영상과 다층 구조 팬텀 실험을 통해, 시간 인덱스가 깊이를 나타낼 수 있음을 확인하였다. 집적 회로 칩의 단층 영상을 획득하여 비파괴 검사의 가능성을 보였다. 후처리 과정으로는 STFT(Shot-time Fourier transform)을 이용하였다.