A thin film thermoelectric generator that consisted of 5 p/n pairs was fabricated with 1 μm-thick n-type In3Sb1Te2 and p-type Ge2Sb2Te5 deposited via radio frequency magnetron sputtering. First, 1 μm-thick GST and IST thin films were deposited at 250 oC and room temperature, respectively, via radio-frequency sputtering; these films were annealed from 250 to 450 oC via rapid thermal annealing. The optimal power factor was found at an annealing temperature of 400 oC for 10 min. To demonstrate thermoelectric generation, we measured the output voltage and estimated the maximum power of the n-IST/ p-GST generator by imposing a temperature difference between the hot and cold junctions. The maximum output voltage and the estimated maximum power of the 1 μm-thick n-IST/p-GST TE generators are approximately 17.1 mV and 5.1 nW at ΔT = 12K, respectively.

현재 청정에너지 확보에 대한 기술은 전 세계적으로 큰 관심을 가지고 있다. 이에 대한 접근법 중 가장 주목을 받고 있는 것은 에너지 하베스팅 기술이다. 에너지 하베스팅은 기존 구조물에서 낭비되어 지는 풍 력, 태양광·열과 같은 에너지를 전기에너지 및 열에너지로 변환하여 사용할 수 있도록 하는 기술이다. 그 중 온도 차이에 의해 전기를 생산 할 수 있는 발전소자를 이용하여 콘크리트 포장도로에 적용하고자 한다. 콘크리트 포장도로의 표면은 하루 중 가장 태양열에 오랜 시간 노출되는 구조물 중 하나이며, 그로 인하여 콘크리트 구조물의 상부와 하부의 온도차이가 발생하게 된다. 본 실험에서는 발전소자의 콘크리트 적용의 효율증대를 위해 알루미늄 판을 부착시킨 상태와 부착시키지 않은 상태의 동일 시간대의 전압생성 량을 비교하여 동일한 실험조건(온도, 측정시간, 공시체크기)을 유지한 상태에서 실험해 보았다.