Recently, the electron transport layer (ETL) has become one of the key components for high-performance perovskite solar cell (PSC). This study is motivated by the nonreproducible performance of ETL made of spin coated SnO2 applied to a PSC. We made a comparative study between tin oxide deposited by atomic layer deposition (ALD) or spin coating to be used as an ETL in N-I-P PSC. 15 nm-thick Tin oxide thin films were deposited by ALD using tetrakisdimethylanmiotin (TDMASn) and using reactant ozone at 120 °C. PSC using ALD SnO2 as ETL showed a maximum efficiency of 18.97 %, and PSC using spin coated SnO2 showed a maximum efficiency of 18.46 %. This is because the short circuit current (Jsc) of PSC using the ALD SnO2 layer was 0.75 mA/cm2 higher than that of the spin coated SnO2. This result can be attributed to the fact that the electron transfer distance from the perovskite is constant due to the thickness uniformity of ALD SnO2. Therefore ALD SnO2 is a candidate as a ETL for use in PSC vacuum deposition.

Ti 안경 태 의 nm 부분과 temple 부분을 분리 한 후， temple 부분을 시 료로 사용하 였다. 실험에 사용한 장비는 아크 이온플레이팅 장비이며， 이 장비를 이용하여 TiN과 TiC 이온도금을 하였다. Ti temple의 성분과 TiN, TiN 도금층과 TiC 도금층의 과 밀착성 시험을 행하였다. 그 결과， TiN temple은 Al을 첨가한 알파형 티탄테 temple이었으며， TiN 이온도금 층은 XPS data로부터 TiN으로， Ti와 결합을 잘하는 Oxygen이나 Carbon과의 결합 이 없다는 것을 알 수 있었다. 염수분무시험에서는 10 일이 경과 후에도 “이상없음”으 로 결과가 나왔으며， 이온도금층의 두께는 약 l.9 ]lm 이었다. 밀착성 시험에서 180。굽 혔을 때 도금층의 박리가 육안으로도 없었으며， 색상은 골드색에 가까운 색상이었다. TiC 이온도금층은 주로 TiC로 이루어져 있으며 N과 0가 약간 섞어있는 형태이었 다. 이온도금층의 두께는 약 l.6 jlm로 TíN 도금층보다 약간 작게 나왔으며， 염수분무 시험과 밀착성시험에서도 TiN 도금층과 같이 “이상없음”으로 결과가 나왔으며， 밀착 성 시험에서 도금층의 박리가 육안으로도 없었으며， 색상은 흑색이었다.