A multi-step deposition process for the gap-filling of submicrometer trenches using dimethyldimethoxysilane (DMDMOS), (CH3)2Si(OCH3)2, and CxHyOz by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is presented. The multistep process consisted of pre-treatment, deposition, and post-treatment in each deposition step. We obtained low-k films with superior gap-filling properties on the trench patterns without voids or delamination. The newly developed technique for the gapfilling of submicrometer features will have a great impact on inter metal dielectric (IMD) and shallow trench isolation (STI) processes for the next generation of microelectronic devices. Moreover, this bottom up gap-fill mode is expected to be universally for other chemical vapor deposition systems.
두꺼운 난류경계층 내에 일정한 간격을 가진 정입방체(150d×150w×150h)주위의 유동특성에 대해 연구를 수행하였다. 본 연구는 건물주위에 다른 건물이 위치함으로써 건물에 미치는 영향을 알아보기 위해 큐브의 표면압력분포를 조사하였다. 큐브 양옆에 같은 크기의 큐브를 3가지타입의 간격을 두고 위치해서 그 유동특성을 파악하였으며 이 때 실험에 적용된 레이놀즈수는 4.5×104, 6.7×104(큐브의 높이 h에서 측정된 유속 U=4.9m/s, 7.3m/s)에서 실시되었다. 결론으로 건물주위에 다른 건물이 위치함으로써 표면근처의 유동특성에 상당한 영향을 나타내고 있다.
해안 지역은 해수의 운동에너지의 대부분은 해안에서 소산되며 이 과정에서 해안의 토사 등이 유실된다. 수면에 돌출된 방파제에 비해 수중구조물은 해수의 유통을 가능하게 하고 해안선을 따라 해수순환을 가능케 한다. 이 연구에서는 해안 침식을 방지 기능을 갖는 수중구조물을 하부틈새를 갖는 수중장애물로 형상화 하고 후방의 흐름특성을 규명하였다. 실험은 Re =1.2×104 조건에서 2프레임 입자영상유속계를 이용하여 속도장을 계측하여 고찰하였다. 측정된 시간평균 속도분포를 분석한 결과 유선의 곡률 효과가 현저히 나타났으며 전단층 주위 유체의 유입 등의 영향으로 박리 전단층 내에서 커다란 와구조가 연속적으로 발생하였다. 또한 하부틈새의 크기가 증가할수록 재순환 영역의 중심이 후류로 이동하고 재순환영역의 강도도 약해지는 결과를 보였다.
본 연구의 목적은 외국인 혼승선박에서의 우리나라 선원과 외국인선원의 문화적 동질성과 승선근무 내성의 차이가 조직 커미트먼트에 미치는 영향을 실증적으로 검토하는데 있다. 해운산업에 있어서 외국인 선원 고용제한이 완화되어 외국인 선원이 혼승함에 따라 많은 문제점이 발생하고 있음에도 불구하고, 외국인 선윈 혼승선박에서의 문화적, 환경적 영향요인과 구성원의 태도와 행동에 관한 구체적인 연구가 이루어지지 않고 있는 실정이다. 따라서 본 논문은 외국인 선원 혼승선박에 승선하고 있는 우리나라 선원과 외국인 선원들을 대상으로 이문화 관리와 승선근무내성 및 조직커미트먼트의 관계를 실증적으로 검증하였다. 검증결과, 우리나리 선원과 외국인 선원간의 문화적 동질성과 승선근무내성에 차이가 있으며, 문화적 동질성과 승선근무 내성이 높은 집단의 조직커미트먼트가 일부 변수간의 관계를 제외하고 모두 높은 것으로 나타났다. 이러한 연구결과는 외국인 선원 배치 및 교육훈련 그리고 혼승선박 조직관리에 있어서 중요한 실무적 시사점을 제공할 것으로 사료된다.
SWAT 모형을 이용하여 대전 3대 하천 유역의 수문 분석 및 도시화에 따른 영향을 평가하였다. 물수지 분석결과에 의하면, 전체적으로 총 유출량 중 지하수 유출량이 44%정도, 중간 유출량이 6% 그리고 지표유출량이 50%이다. 도시화 영향 분석 결과 전체적으로 1975년에서 2000년까지 갑천유역의 약 5%가량의 도시화는 총 유출량의 변화에 있어서는 현저한 차이를 보이지 않았으나, 도시화 율이 32%정도 증가한 소유역의 경우 유출 성분 분석에서 첨두