본 연구는 열탕, 탄화, 4% ethanol, 250mg•L−1 8-HQS, 2.2mM CuSO4, 그리고 10% sucrose 등의 전처리가 부바르디아(Bouvardia longiflora) ‘Diamond Dark Pink’의 절화수명, 생체중, 그리고 수분흡수량에 미치는 영향을알아보기 위하여 수행되었다. 절화수명은 250mg•L−1 8-HQS의 12시간 처리에서 11.8일로 가장 길게 연장되었으며 다음으로 250mg•L−1 8-HQS의 3시간, 250mg•L−18-HQS의 6시간, 그리고 2.2mM CuSO4의 3시간 처리에서 각각 11.4, 11.4, 그리고 11.3일로 길게 연장되었다. 이러한 전처리들의 절화수명은 대조구(증류수)의 4.3일에 비해 2.7배 연장되었다. 그리고 열탕 및 탄화처리의 5초 처리도 대조구보다 절화수명이 2배 연장되었다. 4% ethanol처리의 절화수명은 9.1~9.4일로 절화수명 연장에 효과적이었다. 그러나 10% sucrose 처리는 오히려 대조구보다브바르디아의 절화 품질을 감소시키는 것으로 나타났다.대조구의 생체중은 실험 개시일로부터 2~3일 안에 급격하게 감소하는 데 반해 모든 전처리의 생체중은 완만하게 감소되는 경향을 보였다. Sucrose의 처리가 다른처리에 비해 생체중이 가장 높게 나타나는 경향을 보였으나 잎에 피해를 주어 절화수명을 감소시키는 결과를 초래하였다. 수분흡수의 경우 모든 전처리가 대조구에 비해 높은 수분흡수의 경향을 보였다. 본 연구의 결과 250mg•L−1 8-HQS, 2.2mM CuSO4, 4% ethanol,열탕, 그리고 탄화 등의 전처리는 절화 브바르디아의 절화수명을 향상시키는 데 효과적이라 판단된다.

W에 소량의 Ti를 첨가하여 그 함량 변화에 따른 X-선 마스크 흡수체용 W-Ti 박막의 물성을 연구하였다. W-Ti 박막은 DC magnetron sputtering system을 이용하여 증착하였다. Sputtering 증착시 증착압력의 증가에 따라 박막의 밀도는 감소하였으며 박막의 응력은 압축응력으로 바뀌었다. Ti 함량이 증가함에 따라 천이 압력 근방에서의 응력곡선의 기울기가 감소하였으며 천이 압력도 점차 낮아지는 경향을 보였다. Pure-W 시편의 경우 천이 압력이 약 6.5mTorr로 비교적 높았으며, 이 때 박막의 밀도는 17.8g/cm3이었고 함량 6.5%에서 가장 낮은 천이 압력(4.3mTorr)을 보였으며, 이때의 박막 밀도는 17.7g/cm3로 pure-W과 거의 차이가 없음을 알 수 있었다. SEM을 이용한 미세구조 분석결과 pure-W 박막은 원형의 주상정 조직을 보이고 있으며, Ti가 첨가된 W-Ti 박막의 경우에는 가늘고 긴 침상 모양을 가지는 주상정 조직을 형성하고 있다. 또한 이러한 침상조직은 Ti함량이 증가할수록 더욱 발달하고 있으며, AFM 분석결과 Ti 첨가 시편 모두 18Å이하의 우수한 평균 표면 평활도를 나타내었다. 나타내었다.

본 연구에서는 LPCVD, PECVD, ECR plasma CVD방법을 이용하여 x선 노광 공정용 마스크의 투과막재료로써의 실리콘질화막의 증착과 그의 물성에 관하여 실험하였다. X선 노광 마스크용 투과막의 재질로써 요구되는 적정인장응력에 가지는 증착조건으로 실리콘질화막을 1μm정도의 두께로 증착하였으며 이 조건에서의 물성을 SIMS, XPS, ESR, AFM, spectrophoto-metry를 이용하여 비교 분석하였다. ECR plasma CVD방법으로 얻은 실리콘 질화막은 화학양론적 조성(Si/N=0.75)에 근접하는 막을 얻을 수 있었으며 표면 평활도와 가시광투과도가 가장 우수한 결과를 얻었다. 저온 증착법인 PECVD로 얻은 막은 Si/N비가 약 0.86정도이고 산소와 수소의 불순물함량이 가장 높게 나타났다. SiH2CI2를 이용한 LPCVD막의 경우는 Si-rich조성을 가지지만 수소 불순물의 함량이 가장 작게 나타났고 표면거칠기는 가장 나쁘게 나타났다. 그러나 위의 방법으로 얻은 실리콘 질화막의 최대 가시광투과도는 633nm파장에서 모두 90%이상의 값을 나타내었고, 또한 표면 평활도도 0.64-2.6nm(rms)로 현재 연구되고 있는 다른 X선 투과막재료보다 월등히 우수한 결과를 보였다.