오늘날 양돈의 사양이 증가 함에 따라 부존사료 자원으로서 활용가치가 높은 물질에 항생제를 첨가 하지 않고 친환경적으로 제조된 가축용 사료를 개발하여, 기능성 친환경 돈육 및 가공품을 생산하는 것이 중요하다. 이에 따라 본 연구에서는 항암, 항염, 항산화 등 다양한 생리활성 물질이 다량 함유되어 있는 복분자(Rubus occidentalis, RO) 부산물을 양돈사료의 원료로 확립하고자 버크셔 돼지를 대상으로 복분자 발효사료(Rubus occidentalis fermented fodder, ROFF)의 혈액 내 영양 운반인자와 항산화 효능을 연구하기 위해 수행하였다. 시험구는 일반사료(대조구)에 ROFF를 0.3% 첨가하였고, 발효사료의 효능을 확인 하기 위해 각 체중에 따른 버크셔 거세돈 및 암퇘지에게 43~73일간 급여하여 효능을 확인 하였다. ROFF의 복합적인 효능은 혈액 생화학, 철분 및 항산화 분석을 통해 확인하였다. 그 결과 ROFF의 섭취로 인해 거세 자돈 및 육성돈, 암컷 자돈, 육성돈, 및 110-150 kg 암컷 비육돈 에서 total cholesterol (TC), LDL-cholesterol (LDL-C), HDL-cholesterol (HDL-C) 모두 감소하거나 HDL-C이 증가하는 경향으로 보아 영양생리학적으로 개선되는 경향을 확인하였다. 암컷 비육돈에서는 생화학적 수치가 모두 증가하는 경향으로 보아 임신 가능성이 있는 비육기의 경우 이러한 수치 향상으로 자돈의 생산을 위한 원활한 영양 공급이 예상되며, 건강한 자돈의 생산에 도움이 될 것으로 판단된다. Transferrin (TFE) 함량은 거세돈에서는 변화가 크지 않았으며, 암컷 육성돈 및 110-150 kg 암컷 비육돈에서 ROFF 섭취로 인해 증가하는 경향이 나타남에 따라 ROFF가 철분 결핍으로 인한 부정적인 영향들을 최소화 할 수 있을 것이다. Glutathione peroxidase1 (GPx1)분석 결과 거세 비육 돈 및 110-150 kg 암컷 비육돈에서 ROFF의 섭취로 인해 GPx1 활성이 유의적이지는 않지만 크게 증 가한 것으로 보아 ROFF가 항산화능을 향상시키는 것으로 판단된다. 본 연구의 결과들을 종합할 때, ROFF의 급여가 전체적으로 시험 개체의 개선 효능에는 영향이 크지 않으나 RO의 함량을 고려 할 때 매우 긍정적인 원료사료 중 하나라 할 수 있으며, 특히 ROFF가 거세돈 보다는 암컷 버크셔의 영양 운 반 및 철분 함량 등에 긍정적인 영향을 줄 수 있을 것으로 판단된다.

본 연구에서는 Electron Cyclotron Resonance plasma etching system 을 이용한 Ta 박막의 미세 식각 특성을 연구하였다. 염소 plasma를 사용하여 microwave power, RF Power, working pressure, gas chemistry 등의 변화에 따른 식각 profile의 영향을 조사하였고, pattern density가 증가함에 따라 발생하는 microloading 현상을 0.2μm 이하의 패턴에서 확인 하였다. 이를 개선하기 위하여 식각 과정을 두 단계로 분리하는 2단계 식각 공정을 수행하였으며 이를 통해 우수한 식각 profile을 얻을 수 있었다.

실리콘 소자가 더욱 미세화되면서, 발생되는 power consumption, crosstalk와 interconnection delay 등을 감소시키기 위해 SiO2 대신에 저유전 상수막의 적용이 고려되어진다. 본 논문에서는, 저유전 상수 층간 절연막 재료로 유망한 폴리이미드의 식각 특성에 O2/SF6 가스가 미치는 영향을 연구하였다. 폴리이미드의 식각률을 SF(sub)6 가스의 첨가에 따라 산소와 hydrocarbon 폴리머 간의 반응을 억제하는 비휘발성 물질은 fluorine 화합물의 형성에 의해 감소되었다. 반면에, 기판 전극의 전압 증가는 물리적인 충격을 통해 식각 공정을 증가시켰다. 또한 작은 량의 SF(sub)6 가스 첨가는 식각 topography에 바람직하였다. 폴리이미드 식각을 위한 SiO2 hard mask 사용은 산소 플라즈마 식각 하에서 효과적이었다(선택비-30). 반면에 O2SF6 가스 조성은 식각 선택비를 4로 저하시키게 되었다. 이러한 결과를 기초로, 1-2μm 선폭을 가진 PI 2610의 식각을 원활히 수행할 수 있었다.

W에 소량의 Ti를 첨가하여 그 함량 변화에 따른 X-선 마스크 흡수체용 W-Ti 박막의 물성을 연구하였다. W-Ti 박막은 DC magnetron sputtering system을 이용하여 증착하였다. Sputtering 증착시 증착압력의 증가에 따라 박막의 밀도는 감소하였으며 박막의 응력은 압축응력으로 바뀌었다. Ti 함량이 증가함에 따라 천이 압력 근방에서의 응력곡선의 기울기가 감소하였으며 천이 압력도 점차 낮아지는 경향을 보였다. Pure-W 시편의 경우 천이 압력이 약 6.5mTorr로 비교적 높았으며, 이 때 박막의 밀도는 17.8g/cm3이었고 함량 6.5%에서 가장 낮은 천이 압력(4.3mTorr)을 보였으며, 이때의 박막 밀도는 17.7g/cm3로 pure-W과 거의 차이가 없음을 알 수 있었다. SEM을 이용한 미세구조 분석결과 pure-W 박막은 원형의 주상정 조직을 보이고 있으며, Ti가 첨가된 W-Ti 박막의 경우에는 가늘고 긴 침상 모양을 가지는 주상정 조직을 형성하고 있다. 또한 이러한 침상조직은 Ti함량이 증가할수록 더욱 발달하고 있으며, AFM 분석결과 Ti 첨가 시편 모두 18Å이하의 우수한 평균 표면 평활도를 나타내었다. 나타내었다.

본 연구에서는 LPCVD, PECVD, ECR plasma CVD방법을 이용하여 x선 노광 공정용 마스크의 투과막재료로써의 실리콘질화막의 증착과 그의 물성에 관하여 실험하였다. X선 노광 마스크용 투과막의 재질로써 요구되는 적정인장응력에 가지는 증착조건으로 실리콘질화막을 1μm정도의 두께로 증착하였으며 이 조건에서의 물성을 SIMS, XPS, ESR, AFM, spectrophoto-metry를 이용하여 비교 분석하였다. ECR plasma CVD방법으로 얻은 실리콘 질화막은 화학양론적 조성(Si/N=0.75)에 근접하는 막을 얻을 수 있었으며 표면 평활도와 가시광투과도가 가장 우수한 결과를 얻었다. 저온 증착법인 PECVD로 얻은 막은 Si/N비가 약 0.86정도이고 산소와 수소의 불순물함량이 가장 높게 나타났다. SiH2CI2를 이용한 LPCVD막의 경우는 Si-rich조성을 가지지만 수소 불순물의 함량이 가장 작게 나타났고 표면거칠기는 가장 나쁘게 나타났다. 그러나 위의 방법으로 얻은 실리콘 질화막의 최대 가시광투과도는 633nm파장에서 모두 90%이상의 값을 나타내었고, 또한 표면 평활도도 0.64-2.6nm(rms)로 현재 연구되고 있는 다른 X선 투과막재료보다 월등히 우수한 결과를 보였다.

본 연구진에서 이번에 개발한 '팔도강산2'는 노인용 기능성게임으로서 2011년에 개발한 '팔도강산1'(팔걸이와 발판을 이용하여 2인이 걷는 PC 운동게임)의 후속 작이며 걷기운동에 노인들의 인지, 신체, 심리 기능을 추가한 게임이다. 현대생활에서의 장보기(몰워킹)를 게임 속에서 구현하였으며, 70년대의 재래시장을 배경으로 기억한 물품을 사오는 장보기 걷기 운동 게임이다. 유사한 맥락으로 걷기가 어려운 노인과 장애인용으로 미니게임도 2종 개발하였다. 아산 노인종합복지관에서 65세이상 고령자 219명을 대상으로 실험하여 효과성을 테스트한 결과 게임 플레이가 기억력, 집중력, 활력도에 긍정적인 효과가 있다고 평가되었다.

본 연구진에서 개발 및 효과성을 연구한 '팔도강산'은 집에서 즐기는 전국명승지 구경을 컨셉으로 하는 여가활용 및 노인 복지형 게임이며 팔걸이와 발판 컨트롤러를 이용하는 사용자의 걷기행위를 통해서 진행하는 게임이다. 개발된 게임을 통해서 기대하는 효과성은 상호 협력과 경쟁을 통한 운동 체감성의 대리만족과, 노인들이 게임플레이를 통해서 얻는 활동력 및 지적기능 유지 등의 놀이치료 효과이다. 천안 노인종합복지관에서 65세 이상 노인 309명을 대상으로 테스트 실험한 결과 전체 실험자의 76.1%가 게임플레이에 전반적으로 만족한다고 답변하였고, 게임의 흥미도는 5점 만점에 평균 4.13점으로 조사되었다. 다시 게임을 플레이하겠냐는 질문에서 전체 응답자중 89.4%가 긍정적인 반응으로 설문에 응답했다. 노인들을 위한 관용성과 체감성이 살려진 기능성 게임을 개발하였음을 발견했다.