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1.

1992.10 KCI 등재 SCOPUS 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료

(100) 실리콘의 깊은 이등망성 식각시 석각면의 가장자리에 존재하는 불균일성의 짤막한 고찰

Short Consideration on the Non-Uniformities Existing at the Etched-edges in Deep Anisotropic Etching of(100) Silicon

주병권, 하병주, 김철주, 오명환, 차균현

한국재료학회지 제2권 제5호 pp.383-386 한국재료학회

(100) 실리콘 기판에 대해 깊온 비등방성 식각을 행한 경우 식각면의 가장자리에 존재하는 욜균일성은 식각 계면의 격자결함과 기계적 응력에 의한 것임을 판찰할 수 있었다.

3,000원