Atomic layer deposition(ALD) is a promising deposition method and has been studied and used in many different areas, such as displays, semiconductors, batteries, and solar cells. This method, which is based on a self-limiting growth mechanism, facilitates precise control of film thickness at an atomic level and enables deposition on large and three dimensionally complex surfaces. For instance, ALD technology is very useful for 3D and high aspect ratio structures such as dynamic random access memory(DRAM) and other non-volatile memories(NVMs). In addition, a variety of materials can be deposited using ALD, oxides, nitrides, sulfides, metals, and so on. In conventional ALD, the source and reactant are pulsed into the reaction chamber alternately, one at a time, separated by purging or evacuation periods. Thermal ALD and metal organic ALD are also used, but these have their own advantages and disadvantages. Furthermore, plasma-enhanced ALD has come into the spotlight because it has more freedom in processing conditions; it uses highly reactive radicals and ions and for a wider range of material properties than the conventional thermal ALD, which uses H2O and O3 as an oxygen reactant. However, the throughput is still a challenge for a current time divided ALD system. Therefore, a new concept of ALD, fast ALD or spatial ALD, which separate half-reactions spatially, has been extensively under development. In this paper, we reviewed these various kinds of ALD equipment, possible materials using ALD, and recent ALD research applications mainly focused on materials required in microelectronics.

우리나라 고대농업과 기술을 형성하는 데 직접간접으로 기간역할을 해 왔던 고대중국의 도작기술은, 이미 한전농법과 농본관(정신)을 기원전에 완성하였으며, 특히 심경과 정수 및 토양비옥도 유지를 위한 경전법을 중심으로 도작기술이 발전되었고, 따라서 이앙법, 정조식 심종법, 철제농기구 사용, 수리를 위한 피당 축조기술이 앞섰고, 다양한 지역에서 재해를 회피하거나 다양한 용도의 품질공급을 위하여 벼 품종의 분화가 잘이루어져 왔다. 또한 중국농업의 발상지가 화북이었기 때문에 인희지광의 특성에 맞는 조방적 도작기술로서 화경수누법과 세역법이 태동되었고, 한무제와 ‘참위’학자들의 음역오행설이 농업관과 연계되면서 파종이나 작목선택에 대한 기술이 만술적으로 발달한 경향도 있었다. AD 6세기경의 제민요술 부터 14세기의 왕복 농서 에 이르기까지 도작기술은 지속적, 상가적으로 분화발달되어 왔으나 원대 이후에는 정체된 경향이었다. 이 시점에서 우리나라의 여말 농업과 농사직설 시대가 시작되었다.