목 적 : 비후성심근증 환자군에서 TI scout과 MOLLI(modified Look-Locker Inversion recovery) 시퀀스를 이용하여 심근의 T1 값을 비교하고 유용성을 평가하고자 한다. 대상 및 방법 : 50명의 비후성심근증 환자를 대상으로 심장 MRI(1.5T, Avanto scanner, Siemens, Erlangen, Germany)를 시행하였다. 좌심실의 중앙에서 SA 단면으로 조영제 주입 전과 후에 영상을 획득하였다. 조영제 주입 후 평균 10분에 TI scout(SL 8mm, Turbo factor 22-46)을 획득하고, 평균 13.5분에 MOLLI(SL 8mm, GRAPPA factor 2, 11 heart beats(4+3+2))시퀀스 영상을 획득하였다. 획득한 영상은 두명의 측정자가 Argus (Siemens medical system, Erlangen, Germany)을 이용하여 6개의 구역에 ROI를 설정하여 T1 값을 획득하였다. 통계적 분석으로는 paired t-test(SPSS, ver18.0K)를 이용하여 유용성을 평가하였고, Bland-Altman(MedCalc, ver14.12.0)를 이용하여 상관관계를 평가하였다. 결 과 : TI scout과 MOLLI는 시간에 따른 보정을 하기 전에 유의한 차이를 보였다(TI scout=233.7msec, MOLLI=245.6msec, p<0.001). 그러나 획득 시간에 따른 보정 후에는 유의한 차이를 보이지 않았다(MOLLI=230msec, p=0.17). 두 방법으로 획득한 T1 값은 Bland-Altman 그래프에서 높은 일치도를 보였다. 관찰자 간의 상관계수는 0.97이상으로 높은 일치도를 보였다. 결 론 : MOLLI를 이용한 T1 값은 TI scout과 상응하는 결과를 보여주었다. MOLLI는 심근의 섬유화를 파악하는데 도움을 주며 이를 통해 진단의 정확도를 높이는데 기여할 것으로 사료된다.

TEOS-O3 산화막은 깔개층 물질에 따라 증착속도가 변하는 특성을 나타낸다. 본 논문에서는 TEOS-O3 산화막의 깔개층 물질 의존성 이외에도 배선 밀도, 배선 간격에 따라 증착속도가 달라지는 패턴 의존성에 대하여 조사하였다. 또한 TEOS-O3 산화막의 깔개층 물질 의존성 및 패턴 의존성을 줄이기 위해 다층 배선에서 1차 배선후에 깔개층, 즉 TEOS-base 프라즈마 산화막 및 SiH4-base 프라즈마 산화막을 증착했을 때 TEOS-O3 산화막의 증착 특성을 조사하였다. 그리고 그 깔개층 물질에 N2 프라즈마 처리를 했을 때 TEOS-O3 산화막의 증착 특성에 대해 조사하였다. 그 결과 TEOS-O3 산화막에서 기판 위에 배선 밀도와 배선 간격에 따른 의존성은 깔개층물질이 SiH4-base 일때보다 TEOS-base 프라즈마 산화막인 경우 N2 프라즈마 처리를 하면 깔개층 물질 표면이 O-Si-N화 되므로써 의존성이 사라지게 된다.