건강기능식품에서 이산화규소 분석 방법을 확립하기 위하여 산(불산과 붕산)분해를 이용한 ICP-OES 방법을 수행하였다. 이 방법의 검출한계와 정량한계는 각각 0.07 mg/ L, 0.20 mg/L 이었다. 검량선은 0.2~20.0 mg/L의 농도범위 에서 우수한 직선성(r2 0.99)을 보였다. 글루코사민 제품에 이산화규소 0.4, 1.0, 2.0% (w/w)를 첨가하여 시험한 결과 90.22~94.14%의 회수율과 0.72~1.67%의 정밀성을 나타내었다. 확립된 방법으로 시중에 유통되는 건강기능식품 11 품목의 이산화규소 함량을 분석한 결과 0.02~1.80% (w/w) 로 나타났다. 이 결과는 건강기능식품에 이산화규소의 사 용기준 2% (w/w) 이하를 만족하는 결과로 시험한 제품들 은 규격에 적합하였다. 따라서 본 연구에서 확립된 이 방법은 건강기능식품 중 이산화규소를 쉽고, 빠르게 분석할 수 있으며, 건강기능식품 중 이산화규소 함량 분석에 효율 적으로 사용될 수 있다

초임계 건식 식각 공정에서 HF수용액을 초임계 이산화탄소에 녹인 식각용액을 사용하여 희생막으로 사용되는 테트라에톡시실란막 (TEOS막) 층에 대한 식각성능을 조사하였다. HF에 대한 물의 조성에 따른산화막 식각률의 비교를 통하여 식각에 가장 효과적인 비율을 조사하였다. 50 wt%의 HF수용액을 이용하여 초임계 이산화탄소에서 TEOS막의 건식식각을 진행 할 경우, 990nm/min의 높은 식각속도와 잔여물이 전혀 남지 않는 우수한 식각성능을 확인할 수 있었다.

For the application of nano-sized material in various fields, the evaluation of nano-sized material toxicity is important. In the present study, various concentrations of 200 nm-sized silicon dioxide nanoparticle suspension were intraperitonially injected into mice to identify the toxicity of silicon dioxide nanoparticle in vivo. In the hematological analysis of group II treated with silicon dioxide nanoparticle 100 mg/kg body weight, lymphocytes and monocytes were significantly different compared to the control group. In group III treated with silicon dioxide nanoparticle 200 mg/kg body weight, lymphocytes, monocytes and hemoglobin were significantly different compared to the control group. In blood biochemical analysis of group III, the concentration of AST, ALT, BUN, and creatinine were significantly different compared to the control group. Histopathologic examination of the kidney indicated a mild injury only in mice received 200 mg/kg silicon dioxide nanoparticle. According to the results of the present study, the significant differences in the hematological and blood biochemical analyses and abnormal histopathological findings in the mouse kidney may have been related to exposure to silicon dioxide nanoparticle.

WF6와 SiH4의 화학반옹으로부터 산화규소막 위에 텅스텐 핵이 형성되는 현상을 실험을 통해 관찰하였다. 핵이 생성되는 속도는 반응온도가 높고 운반기체의 유량이 적으며 반응기내의 압력이 높을수록 큰 것으로 나타났다. 또한 반응기체가 흘러가는 방향에서 아랫쪽으로 위치하는 표면에 핵이 생성되는 속도가 큰 것으로 나타났다. 산화막위에 생성된 텅스텐 핵의 형상과 파단면을 주사현미경으로 관찰하였으며 산화막위에 형성된 텅스텐 박막의 화학적 조성을 밝혀내었다.

Nanomaterials affect human and environmental health through applications, such as waste-containing nanomaterials (WCNMs) generation, product use, treatment and disposal. As the number of applications increases, more and more nanomaterial waste will be generated. The increased use of nanomaterials introduces nanoparticles intentionally or unintentionally into waste streams. This study examined WCNMs in a domestic industrial area and selected silicon dioxide as an objective nanomaterial because it is ranked first in circulation and quantity of use. We analyzed leaching and concentration of heavy metals in nano-waste. Chemical composition was determined using X-ray powder diffraction (XRD) and X-ray fluorescence (XRF), and the unique properties of nano-waste were examined using particle size distribution analyzer and transmission electron microscopy (TEM). The results of the leaching test showed lower or undetectable concentrations than those of standard hazardous substances in Korea. However, some samples had higher concentrations than criteria of hazardous chemicals in contaminated soil. The XRF results revealed that silicon dioxide was the major component with a known particle size < 100 nm in liquid waste samples.