Ta2O5 박막은 실리콘산화막, 실리콘질화막 박막에 비해 유전율은 높으나 누설전류밀도가 높고, 절연파괴강도가 낮아 DRAM의 커패시터용 재료로서 실용화가 되지 못하고 있다. 본 연구에서는 LPCVD법으로 형성시킨 300Å 두께의 Ta2O5 유전체박막에 대해 후속열처리 또는 전극재료를 변화시켜 열악한 전기적 특성의 원인을 규명하고자 하였다. 그 결과 다결정 실리콘 전극의 경우 성막상태의 Ta2O5 박막은 전극에 의한 환원반응에 의해 전기적 특성이 열화됨을 알 수 있었고, 이를 TiN 전극의 사용으로 억제시킬 수 있었다. 다결정 실리콘 전극의 경우 성막상태의 Ta2O5 유전체는 누설정류밀도가 10-1A/cm2, 절연파괴강도가 1.5MV/cm 정도였으며, 800˚C에서 O2열처리를 하면 전기적 특성은 개선되나, 유전율이 낮아진다 TiN 전극을 채용할 경우 누설전류밀도 10-6~10-7A/cm2, 절연파괴강도 7~12MV/cm 로 ONO(Oxide-Nitride-Oxide) 박막과 비슷한 Ta2O5 고유전막을 얻을 수 있었다.

반도체 공정의 최종 보호막으로 주로 사용되는 PSG (Phosphosilicate class), USG (Undoped silicate glass) 및 SiN 막을 CVD 방식으로 deposition 하여 각 막의 스트레스를 막 두께 또는 대기중 방치시간의 함수로 조사하고 Al 배선의 stress-migration 관점에서 평가했다. 그 결과 PSG 막과 USG 막은 tensile stress를 나타내고 두께증가에 따라 스트레스가 증가하였고, SiN 막은 두께에 관계없이 일정한 compressive stress를 나타내었다. PSG 막은 현저한 스트레스 경시변화를 보여 대기중에 방치시 2일이내로 tensile stress가 compressive stress로 변화되었다. 그 주 원인은 PSG 막의 수분 흡수 때문인것이 FTIR 분석으로 밝혀졌고, 300˚C에서 20분간 anneal 처리로 2.5×109 dyne/cm2의 스트레스 회복이 가능하였다. PSG 막이 포함된 복합막의 경우, 복합막 stress는 PSG 막의 방치시간에 따라 변한다. 즉, 복합막의 스트레스는 복합막을 구성하고 있는 막들의 두께의 함수이다. 또 SiN 막의 강한 압축응력을 완화시켜주는 PSG, USG 막의 스트레스가 큰 인장응력을 나타낼수록 Al 배선의 stress-migration 에 대한 저항은 커진다.

This study evaluated the fluidity and compressive strength of concrete by replacement ratio of blast furnace slag fine aggregate and ferronickel slag fine aggregate to investigate the possibility of replacing natural fine aggregate with steel slag for fine aggregate. Test results show that the use of steel slag fine aggregate improves the fluidity of concrete and compressive strength of concrete was higher than plain concrete.

This study investigated the durability performance of concrete to which Polydimethylsiloxane (PDMS) was applied for penetrating water repellency. As the results of study, From test of the resistance to chloride ion penetration, superior salt-resistance was shown in comparison to plain concrete, by the application of PDMS. Experimental results of SM and IM showed more than twofold improved salt-resistance compared to plain concrete.

This study was performed an evaluation of compressive strength of NSB mortar according to BP contents and curing conditions. As the results of study, compressive strength increase as BP content and curing temperature was increased. When considering the strength properties of BP NSB mortar, the proper BP content and curing temperature are thought to be 20% and 60℃ respectively.

It was found that the firming agent was satisfied in terms of mobility for improving compactibility and filling characteristics since reviewing the basic properties of the fluidized filler according to the types of firming agent in domestic market. But, it was difficult to secure adequate strength for re-excavation.

The study investigated the fluidity and compressive strength properties of cement paste containing Ferro-Nickel slag powder by different curing conditions to estimate the applicability of Ferro-Nickel slag powder for cement replacement materials.

This study analyzed the compressive and flexural strength properties of low cement porous block with amorphous metallic fiber which has various mechanical performance including high strength, low friction coefficient, high corrosion resistance, and superior soft magnetism.

This study was evaluated of the fluidity of the mortar according to the size chance in order to examine whether ferro-nickel slag that produced by-product of making stainless steel applies to the fine aggregate.

The purpose of this study is to evaluate the impact on flexural strength and compressive strength of the concrete, the mixing rate of the amorphous fibers.

현재 우리나라의 슬러지 발생량은 지속적으로 증가하는 추세이며, 해양매립이 금지됨에 따라, 슬러지의 처리방법과 활용방안이 시급해져 새로운 방법을 모색할 필요가 있다. 이 연구에서는 하수 처리 시 발생하는 잉여슬러지의 탈수성을 증대시켜 슬러지 케이크를 감소시키기 위해 초음파를 적용하였다. 초음파를 액체에 발사하면 액중에 수축과 팽창이 교대로 일어나며 수 만개 이상의 미세한 공동이 발생된다. 이 공동이 폭발하면서 발생한 에너지를 슬러지의 입자 파괴에 이용하여 슬러지의 탈수성을 증대시키고자 하였다. 이번 연구에서 사용된 슬러지는 김포하수처리장에서 채취한 탈수 전 슬러지이며 하수슬러지 7L에 초음파 조사시간(5min, 10min, 20min, 30min, 50min, 60min)에 조사강도 154W, 308W를 가하였다. 일반적으로 초음파 조사시간이 길어질수록 CST가 증가하는 경향을 보였다. 그러나 조사한 슬러지에 응집제를 첨가시 초음파 강도와 조사시간에 따른 CST 결과 154W에서 조사시간 5분, 10분일 때 CST가 가장 낮게 측정되었다. 또한 초음파 조사시간에 따른 원심분리실험을 실시하였다. 조사시간 5min, 10min일 때를 조사하지 않은 슬러지와 실험을 실시한 결과, 초음파에 조사된 슬러지가 초기 침하되는 속도가 더 빠르며, 최종침하량도 더 빨리 도달했다. 연구결과 초음파조사시간과 초음파 강도가 탈수성에 큰 영향을 주었다. 탈수성의 직접적 효과를 보기 위하여 조사시간 5~10min, 초음파 강도 154W를 가해야한다. 이를 잉여슬러지의 탈수능 향상에 도입시 유용하게 사용될 수 있을 것으로 기대된다.

본 논문에서는 게임 맵에 대한 공간 분석을 통하여 정량적인 공간 분석 수치를 제공함으로써기획자들로 하여금 게임 객체를 배치하는데 있어서의 합리성을 제공할 수 있도록 하는 것이 본 연구의 기본 목적이다. 본 연구의 의의로는 Space Syntax을 이용한 게임 플레이어들의 행태 분석에 국한된 기존 연구의 한계를 벗어나, 게임 개발 단계인 레벨 디자인에서 Space Syntax를 활용하여 효율적인 게임 객체의 배치가 가능할 수 있도록 한 것이다. 본 논문의 산업적인 가치로는 합리적인 게임 객체의 배치에 따라 기존의 레벨 디자인 단계에서 발생할 수 있는 반복적인 작업들을 줄여 게임 개발 기간 및 개발 기대 비용을 절감할 수 있을 것으로 기대한다.

본 연구에서는 실물모형 화재시험 후 쉴드터널 라이닝의 손상평가를 수행하였다. 먼저 고온에 노출된 쉴드터널 라이닝의 코어 채취를 통해 잔존압축강도를 측정하고, X선 회절분석 및 열중량 분석으로 수열온도를 예측하였다. 코어 채취에 의해 측정된 잔존 압축강도를 통해 고온에 의한 부재의 강도저하를 평가할 수 있었다. 또한 정확한 수열온도 예측이 이루어진다면 기존의 연구결과를 통해 부재의 잔존압축강도를 추정할 수 있다. X선 회절분석 및 열중량 분석은 약 450℃의 온도를 기준으로 수열온도 예측이 가능하지만 정량적인 수열온도의 판단에는 한계가 있었다. 400~600℃의 수열온도범위에서는 기기분석에 의한 평가와 더불어 해석적 기법이 병행된다면 보다 정확한 수열온도 예측이 가능할 것이다.

This paper analyzes the motion of a horseback riding robot which has two actuators and three joints. It is impossible to control the saddle to get to any position and orientation using the two motors because the robot has less degrees of freedom than the number of joints. Therefore it is required to know the possible location and orientation along with the velocity characteristics of each pose prior to motion planning. For this purpose, this paper analyzes the characteristics of the robot motion. The authors derive the forward and inverse kinematics of the robot motion and developed the trajectory editor for motion planning. Also, Jacobian of the robot is analyzed. It reveals that one of the actuator has little influence to the speed of the saddle motion while the other affects the speed of the saddle motion dominantly. The approach of the paper can be applied for the analysis of characteristics of a robot which has less number of actuators than that of joints.

0%, 5%, 10%의 염수로 절인배추를 각각 High density polyethylene film (HDPE-film), Low density polyethylene film (LDPE-film), Mirafresh film (MF-film)으로 포장한 후 4주간 에 저장하면서 pH, 염도, 총균수, 젖산균수, 탄력성을 측정해 품질특성의 변화를 평가하였다. pH의 경우 절이지 않은 배추(0% 염수)일 때는 필름별로 큰 차이를 보이지 않았고,