반도체용 초순수를 생산하는 공정에서 수질관리를 위해 카트리지 필터, 한외여과막, 역삼투막, 탈기막, 이온교환막, 최종생산수용 한외여과막 등 다양한 종류의 분리막이 적용되고 있다. 분리막 공정은 종래기술과 비교하여 동등이상의 성능과 운전의 용이함과 설치면적의 최소화 등 부수적인 장점을 가지고 있다. 유입수의 수질에 따라 전처리 필터의 종류 및 기능이 결정되며, 최종수의 폴리싱 부담을 줄이기 위한 분리막 공정의 구성 등이 중요하다. 본 연구에서는 반도체용 초순수 실증파일럿플랜트의 공정 최적화를 위해 분리막 공정의 구성 및 운전방법에 따른 성능 등을 평가하는 연구를 진행하였다.

반도체용 초순수를 생산하는 공정에서 다양한 종류의 멤브레인을 적용하고 있다. 정밀여과막, 한외여과막, 역삼투막, 탈기막, 이온교환막, 최종생산수용 한외 여과막 등이 있다. 멤브레인기술은 종래기술과 비교하여 동등이상의 성능과 운전의 용이함과 설치면적의 최소화 등 부수적인 장점이 있기 때문이다. 반도체산업에서 적용되고 있는 멤브레인은 주로 외산기술이 점유하고 있다. 본 연구에서는 국산화를 위해 설계공정과 일부 멤브레인 기자재 개발을 진행하 였다. 기자재 개발품의 실증을 위해 실증파일럿플랜트에 적용하여 국/외산 성능 비교와 운전방법에 따른 성능 등을 평가하는 연구를 진행하였다.

본 연구에서는, 반도체, LCD 공정에서 금속막을 증착하기 위하여 PECVD장비에 화재, 폭발 위험성과 독성을 가진 Silane가스를 사용하게 되는 장비인 gas cabinet, pipeline, VMB(Valve manifold box), MFC(mass flow controller)장비 등, 전반적인 시스템에 대하여 영국 HES의 ALARP개념을 도입하여 위험성 평가를 실시하여 문제점을 도출하고 대책을 강구 하는데 목적이 있고, 여러 가지 문제점중

  The estimation of mortality characteristics of industrial property is an important adjunct to engineering valuation and depreciation estimation. Once the important of depreciation estimation is determined, it is desirable to understand the processes upo

The power of semiconductor, Korea is continuously constructing semiconductor production line for keeping a front-runner status. however, studies and data about potential risks in semiconductor factory are still short. If fire does not initially suppressed, the fire causes a great damage. To decrease fire risk factors, in addition to fire fighting safety equipment, more important thing is how to design and construct fire protection system. The current fire protection codes about semiconductor factory come under functional law, and this law is short of consideration about particularity of factory. The existing prescriptive fire codes depending on experience compose without evident engineering verifications, thus equipments which is created by the current prescriptive fire code may bring about a variety of problems. For example, the design under the current regulation can not cope with the excessive investments, low efficiencies, and the diversifying construction designs and be applied to the quick changes of new technologies. Ergo, an optimal design for fire protection is to equip fire protection arrangements with condition and environment of production field. Manufacturing factory of semiconductors is a windowless airtight space. And for cleanliness, there exists strong flow of cooperation. Therefore, there is a need for fire safety design that meets the characteristic of a clean room. Accordingly, we are to derive smoke flow according to cooperation process within a clean room and construction plan of an optimal sensor system. In this study, in order to confirm the performance of proposed smoke-exhaust equipment and suggest efficient smoke exhaust device when there is a fire of 1MW of methane in the clean room of company H, we have implemented fire simulation using fluid dynamics computation.

본 연구에서는 두 나라에 걸쳐 경영활동이 전개되는 경우 기업에서의 다양한 문화적 배경이 동일한 조직성과에 대한 귀인양식(attribution pattern)에 어떤 체계적인 차이를 보이는지를 알아보고자 하였다. 이를 위해 한국의 반도체 제조 기업에 근무하는 미국인과 한국인 근로자를 대상으로 이들이 자기 회사의 성과를 어떻게 귀인 시키는지를 살펴보았다. 연구 결과, 미국인 근로자는 기업 실적의 책임에 있어서 시장 요인을 더 중요하게 인식한 반면, 한국인 근로자는 오히려 정부 요인을 기업 실적의 중요한 원인으로 인식하고 있었다. 그리고 한국인 근로자가 미국인 근로자보다 회사의 저조한 실적에 대해 더 많은 개인적 책임감을 인식하는 경향을 발견하였으나 연구방법론에 따라 통계적 유의성에 대한 해석에 차이를 보였다. 또한 집단기여에 대한 추가 분석을 실시한 결과 한국인 근로자와 미국인 근로자가 회사의 저조한 실적을 회사 자체의 책임으로 보는 정도에는 차이가 나타나지 않았다. 마지막으로 본 연구 결과의 시사점과 한계, 후속 연구가 논의 되었다.

The hydroxyapatite(HAp) for the present study was prepared with the wastewater sludge from semiconductor fabrication process and it was crystallized in an electric furnace for 30 min at 900℃. The adsorption characteristics of HAp for phosphate ion in aqueous solution has been investigated. The adsorbed ratio of phosphate ion for HAp were investigated according to the reaction time, amount of HAp, concentration of standard solution, pH of solution, and influence of concemitant ions. The amount of adsorbed phosphate ion decreased with the increase of pH due to the mutual electrostatic repulsion between adsorbed phosphate ions and competitive adsorption between phosphate ion and OH- ion in aqueous solution. The maxium amount of the adsorption equilibrium for phosphate ion was about 24 mg/g of HAp. The HAp would likely to be a possible adsorbent for the removal of phosphate ion in the waste water.