실릴콘 산화막을 CHF3/C2F6 혼합가스를 사용하여 반응성이온 건식식각을 행할 때 실리콘 표면에 형성되는 잔류막과 손상충의 열적 거동을 X-선 광전자 분광기(XPS)와 이차이온 질량 분석기 (SIMS)를 사용, 연구하였다. 저항가열을 통한 in-situ 분석에 의해 폴리머 잔류막은 200˚C부터 분해가 시작되고 400˚C 이상의 가열에서는 graphite 형태의 탄소 결합체를 형성하며 분해됨을 알았다. 질소 분위기하의 급속 열처리를 통해 잔류막의 열분해는 800˚C 이상에서 완료되고 손상층을 형성하는 침투 불순원소의 기판 외부로의 확산이 관찰되었다.

실리콘 산화막을 CHF3/C2F6 혼합가스를 사용하여 반응성이온 건식식각을 행할 때 실리콘 표면에 형성되는 잔류막과 손상층을 X-선 광전자 분광기(XPS)와 이차이온 질량 분석기(SIMS)를 사용, 연구하였다. 실리콘, 탄소, 산소 및 불소의 angle-resolved XPS분석기술을 이용한 비파괴적 화학결합상태의 깊이분포 분석을 통하여 잔류막의 표면부에 O-F 결합이 존재하며 잔류막은 주로 탄소와 불소의 결합체인 C-F 플리머로 구성되어져 있고 Si-O, Si-C 및 Si-F 결합 등이 존재함을 알았다. 손상층은 실리콘 표면에서 약 60nm 깊이까지 탄소와 불소의 침투에 의해 형성되어져 있음을 알았다.

양송이를 재배할 때 복토의 최적 pH와 칼슘원의 효과를 구명코저 본 시험을 실시하였다. 양송이 복토의 최적 pH는 7.5이었다. 중성내지 약알카리성토양에서 칼슘의 촉진적 효과가 뚜렷하였다. 즉, 복토에 첨가되는 수산화칼슘 및 탄산칼슘의 효과는 pH교정뿐만 아니라 칼슘의 생장촉진효과도 중요하다고 본다.

경기도 부평군 소사(부천)에 가을 보리 품종 "칠보" 를 그리고 경북 칠곡군 동명에 품종 "제천 5초"를 각각 재식하고 각 지구에 보비 및 배비구를 설치하여 ethylene깨스 발생제인 Ethrel과 dl-methionine의 단응 또는 혼용으로 농도별 엽면살포를 하여 다음 결과를 얻었다. 1. Ethrel은 보리초장을 작게 하는데 그 농도가 더함에 따라서 더욱 작아졌으며 이것은 지엽에서 이삭의 기부까지의 길이 즉 출수도가 작아짐으로서 이루어진 것이다. 2. 보리의 초장이 작을수록 도복은 적었으나 수장과 1000립중이 따라서 적어지며 결국 종실중 수량이 감소되었다. 3. 질소의 보비 및 배비의 무처리는 모두 도복되었는데 Ethrel 500ppm처리에서는 전혀 도복을 볼 수 없었고 도복된 무처리에 비하여 약 10%증수를 나타내었다. 4. 배비의 효과는 보비보다 초장을 좀더 길게하는 데 있었고 배비가 오히려 보비보다 수량이 적은 편이였다. 5. Ethrel보완제로서의 dl-methionine처리는 보리의 왜화효과에 영향을 주지 않았으며 오히려 감수를 초래하였다. 우리나라 현 보리생산과 경제성의 관념에 입각하여 ethylene에 의한 왜화재배로 다비재배의 가능성과 증수재배의 전망을 논의하였다.능성과 증수재배의 전망을 논의하였다.

본시험은 통일(IR 667) 벼의 적고현상의 원인이 근본적으로는 질소 비료의 부족과 토양내에 존재하는 뿌리의 호흡억제조건(예를 들면 저온, 배수불량 등) 이 질소 흡수를 저해시키는 결과라고 보고 적고현상의 본질을 더욱 구명하기 위하여 수행한 것이다. 수도품종 통일(수원 21004)과 풍광을 질소 비료와 호흡조지제에 대한 반응으로 나타나는 황화 또는 적고엽을 비교하였는데 대사 또는 호흡조지제로서는 2,4-dinitrophenol과 황화소다, 질소 급원으로서는 황산안몬을 사용했다. 본 시험의 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 통일벼는 재래종인 풍광에 비해서 질소에 보다 민감한 반응을 보였으며 이는 통일이 풍과에 비하여 다량의 질소를 요구하는 품종이며 질소의 결핍시는 통일은 엽록소형성이 저해되어 풍광은 그렇지 않는데 소위 적고현상을 일으켰다. 2. 특히 2,4-dinitrophenol과 황화소다와 같은 호흡조지제가 뿌리의 질소흡수에 미치는 영향은 통일벼가 풍광 보다 현저하였으며 통일의 경우 적고현상의 전제인 심한 황화현상이 나타났다. 3. 위의 두가지 사실을 미루어 보아 통일벼의 잎에 나타나는 적고현상은 질소비료의 공급 또는 흡수부족과 엽내의 질소성분부족으로 일어나는 품종자체의 특성에서 오는 현상이라고 말할수 있다.