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        141.
        2011.09 KCI 등재 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        본 연구는 불특정 다수의 도로이용자들이 경로우회 시 갖는 의사결정과정속에 내포된 비선형성과 불확실성을 고려한 정도 있는 모형구축으로 주요 우회결정요인을 분석하는 것이 주요 목적이다. 이를 위하여 고속도로 및 국도를 이용하는 운전자를 대상으로 우회여부에 관련된 SP조사를 실시하였고, 조사결과에 대하여 의사결정나무와 신경망이론의 결합된 모형을 구축하여 운전자 우회결정요인을 분석하였다. 분석결과 운전자 우회여부결정에 영향을 미치는 요인은 우회도로 인지여부, 교통정보 신뢰도 및 이용빈도, 경로전환빈도, 나이순으로 나타났다. 또한 오분류표를 통한 기존 모형과의 예측력의 비교결과 결합된 모형의 오분류율이 8.7%로 기존 모형인 로짓모형 12.8%, 의사결정나무 단독 모형 13.8%와 비교했을 때 가장 예측력이 높은 것으로 나타나 운전자 우회결정요인 분석에 관한 모형의 적용 타당성을 확인할 수 있었다. 본 연구의 결과는 향후 교통량 분산효과와 도로망 효율 증대를 위한 효과적인 우회관리전략 수립 시 기초 자료로 활용가능하리라 사료된다.
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        142.
        2011.06 KCI 등재 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        14-3-3 is a highly conserved, ubiquitously expressed protein family. It associates with diverse cellular proteins through its specific phosphoserine/phosphothreonine-binding activity and thus contributes to the regulation of crucial cellular processes such as metabolism, signal transduction, cell-cycle control, apoptosis, protein trafficking, transcription and stress responses. This study aims to determine changes in levels of 14-3-3 isoforms and 14-3-3 - associated proteins in Helicobacter pylori(H. pylori)-infected gastric epithelial AGS cells. AGS cells were stimulated with H. pylori(NCTC 11637) at the ratio of 300:1(bacterium:cell). Western blot analysis revealed that 14-3-3 σ was elevated at 3 hr after H. pylori treatment. Other isoforms were not significantly affected by H. pylori infection. Using immunoprecipitation to 14-3-3 σ, followed by proteomic analysis, we found that S phase kinase associated protein isoform 2 bound to 14-3-3 σ has increased. In contrast, three proteins (DEAD-box polypeptide 3, heterogeneous nuclear ribonucleoprotein H2 and WD repeat-containing protein isoform 1) bound to 14-3-3 decreased by H. pylori infection. Our results suggest that 14-3-3 may play an important regulatory role in H. pylori-induced signal transduction in gastric epithelial cells.
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        143.
        2011.03 KCI 등재 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        자연유기물을 처리하는 침지형 중공사막 정밀여과 시스템에서 TiO2 나노입자와 UV를 이용한 광촉매 반응을 적용 시 공기폭기, TiO2 농도, 용액의 pH 그리고 Ca+2의 존재가 자연유기물에 의한 파울링에 미치는 혼합영향을 관찰하였다. 실험결과, TiO2 나노입자 없이 단순 UV의 조사만으로 자연유기물에 의한 파울링은 약 40% 정도 감소시킬 수 있었다. 또한 UV의 조사 없이 TiO2 나노입자의 교반만으로 약 25%의 파울링 감소효과를 나타내었다. 공기폭기가 광촉매 반응에 미치는 영향을 확인해 본 결과 공기폭기를 적용해 주지 않은 경우와 비교했을시 공기폭기로 인한 자연유기물의 제거효율은 약 12% 정도 향상되었다. 이는 공기폭기로 인한 분리막 표면으로부터 자연유기물의 물리적인 역수송 보다는 산소공급으로 인해 광촉매 반응이 더욱 향상된 것으로 판단된다. 공기폭기 유량, TiO2 농도, 용액의 pH 영향정도를 관찰한 결과 공기폭기가 자연유기물 파울링 감소에 미치는 영향이 가장 낮은 것으로 나타났다. 반면, 용액의 pH 경우 낮은 pH (= 4.5)에서 파울링 감소에 미치는 영향이 가장 높은 것으로 관찰되었다. 또한 TiO2 나노입자 농도가 증가할 수록 파울링 감소효과도 증가하였으며 용액의 pH를 낮출수록 파울링 감소는 증가하였다. 이는 낮은 pH에서 서로 반대전하를 지닌 자연유기물과 TiO2 나노 입자간의 정전기적인 인력이 증가하여 TiO2 나노입자 표면에서 자연유기물의 광촉매분해능이 향상된 것으로 사료된다. 또한 자연유기물 중 Ca+2의 첨가는 상대적으로 높은 pH (= 10)에서 자연유기물과 TiO2 나노입자 사이 가교현상을 촉진시켜 Ca+2이 첨가되지 않은 경우와 비교시 높은 파울링 감소효과와 자연유기물의 분해효과를 달성시킬 수 있었다.
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        144.
        2010.12 KCI 등재 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        3-MCPD created in manufacture process was regulated in our country about soy sauce and HVP. The latest paper reported that Bound 3-MCPD is created as intermediate. Germany common risk assesment reported that Bound 3-MCPD must be reduced because Bound 3-MCPD can be created in estimation circle when this is hydrolyzed in human body, but the data about the toxity of Bound 3-MCPD is lack. Therefore, We analysis about 209 items food such as soy sauce, seasoning food and meat-eating manufactured goods using bound 3-MCPD analysis method developed recently. As result of survey, bound 3-MCPD detected in 8 items among 44 traditional sauce (0.02~0.28ppm), 8 of soup 12 items (0.01~0.96ppm), in 22 items of sauce 60 items (0.01~0.55ppm), in 16 items of meateating manufactured foods 30 items (0.04~0.18ppm), in 20 items of snack cookies 28 items (0.09~1.43ppm), in 8 in roasted oil foods 10 items (0.04~1.22ppm), in 6 items of peanut processed food 10 items (0.06~0.25ppm), in 1 of vegetable cream 15 items (0.05ppm). Detected level was lower than the result of monitored by other countries.
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        145.
        2010.12 KCI 등재 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        컨버전스는 소비자 니즈의 다양화, 고도화 및 관련 IT기술의 발전을 기반으로 21세기의 문화와 사회를 대표하는 키워드로 부각되었다. 현재 우리 사회는 컨버전스의 진화 단계에 있어 두 번째 단계인 산업간 융합 단계, 즉 IT의 활용 범위가 확대되면서 방송, 통신, 금융, 자동차, 의료 등 다양한 산업 영역이 융합되는 단계에 있으며, 본 연구의 대상인 통신·방송 결합상품은 이런 산업간 융합의 대표적 사례이다. 본 연구는 통신·방송 결합상품의 수용과정에 기술혁신상품의 수용모델인 TAM을 적용하여 결합상품의 서비스특성이 소비자의 해당 상품 수용의도에 미치는 영향을 분석하였다. 연구결과, 통·방 결합상품의 주요 서비스특성인 저렴한 비용(가격할인), 서비스 통합성, 선택가능성이 소비자의 지각된 유용성, 지각된 이용편의성 및 지각된 위험에 영향을 주어 소비자의 수용의도를 높일 수 있다는 것을 확인하였다. 본 연구결과는 통신·방송 결합상품의 수용과 확산을 위해서 가격할인 전략(요금전략)과 더불어 이용요금고지시스템, 납부시스템, 콜서비스시스템, 설치 및 A/S시스템의 통합과 같은 시스템적 통합(서비스전략), 그리고 이용자에게 선택권을 줄 수 있는 결합상품 및 관련 옵션들의 개발(상품전략)이 필요하다는 시사점을 제시하고 있다.
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        146.
        2010.12 KCI 등재 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        지리정보 및 시공간정보의 활용은 사용자 중심의 모바일 애플리케이션 발전에 있어 매우 중요한 역할을 담당한다. 현재 지도서비스와 연계된 스마트폰 애플리케이션은 다수 제공되고 있으나, 지리정보를 활용하는 연구는 관광정보, 버스정보 등 소수의 사례만이 보고되었다. 이러한 연구들에 부가하여, 모바일이라는 개인화된 환경을 고려할 때 사용자 자신과 관련된 정보와 지도서비스를 결합하는 지리정보 애플리케이션의 개발이 매우 필요하다고 하겠다. 이에 본 연구에서는 스마트폰의 네이티브 애플리케이션인 캘린더와의 동기화를 통해 개인스케줄을 지도서비스와 결합하는 애플리케이션을 구현함으로써 위치, 시각, 일정 등 개인화된 상황문맥을 스마트 폰에서 활용하는 방안을 제시하고자 한다. 본 애플리케이션은 개방형 운영체제로서의 잠재력을 가진 안드로이드 탑재 스마트폰을 타겟으로 하여 자바 언어로 개발되었으며, GPS 위치정보와 구글맵스 지도서비스를 활용하여 개인스케줄을 지도화하고, 사용자 주변 도로교통상황의 표시, 지오코딩에 의한 장소검색 등의 기능을 제공한다. 이 애플리케이션 구현에 사용된 코드들은 라이브러리 형태로 패키징되어 다른 애플리케이션 개발에 재사용 및 확장 가능하다.
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        147.
        2010.05 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        Today many successful star marketing cases constantly represented in many companies, so star marketing has become significant. Although star marketing brings a lot of business opportunities for companies, the results are not always positive effects. The purpose of this study is to provide a mechanism to select an advertising model casting for star marketing. This study uses the combined customer data analysis and AHP approach to choose a adequate an advertising model such as internet search engine, news searched words, customer survey, etc. And then AHP technique is applied to the five chosen candidates based on their salary, awareness, issues, continuous possibility and connection to product's concept. As a result, the proposed method will guide a good casting method to select an suitable advertising model and improve the effects of star marketing. how it improves the effect of star marketing.
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        148.
        2010.05 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        Today many successful star marketing cases constantly represented in many companies, so star marketing has become significant. Although star marketing brings a lot of business opportunities for companies, the results are not always positive effects. The purpose of this study is to provide a mechanism to select an advertising model casting for star marketing. This study uses the combined customer data analysis and AHP approach to choose a adequate an advertising model such as internet search engine, news searched words, customer survey, etc. And then AHP technique is applied to the five chosen candidates based on their salary, awareness, issues, continuous possibility and connection to product's concept. As a result, the proposed method will guide a good casting method to select an suitable advertising model and improve the effects of star marketing. how it improves the effect of star marketing.
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        149.
        2010.03 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        The binding affinity constants (p(Od)50) and molecular docking scores (DS) between porcine odorant binding proteins pOBP (1HQP) and pPBP (1GM6) as receptor and a series of tetrahydrofuran-2-yl (A & B) analogues as substrate, and their interactions were discussed quantitatively using three-dimensional quantitative structure-activity relationship (3D-QSAR) models. The statistical qualities of the optimized CoMFA models for pOBP were better than those of the CoMSIA models. The binding affinity constants and DS between substrate and receptor molecules were dependent upon steric and hydrophobic interaction. The DS constants of the substrates into the binding site of OBP (1HQP) were bigger than those of PBP (1GM6). The resulting contour maps produced by the optimized CoMFA model were used to identify the structural features relevant to the binding affinity in binding site of pOBP.
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        150.
        2010.03 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        본 논문에서는 깊이정보를 결합하여 움직임 물체의 경계를 정확히 추출하는 방법을 제안한다. 기 존의 방법들이 연속된 영상의 밝기값의 변화 유무만을 이용하여 움직임 물체를 추출하였기 때문에 물체 의 분할결과가 부정확한 문제점이 있었다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 방법은 물체의 깊이 정보를 결합하여 물체의 분할결과를 보정한다. 먼저 차영상에 기반한 움직임 물체 추출 방법을 이용하여 움직임 물체를 추출한다. 다음으로 깊이정보를 이용하여 분할결과를 보정하였다. 분할결과 보정시, 분수령알고리즘을 적용하여 물체와 배경으로 구분하였다. 실험결과에서 주어진 것처럼 깊이정보를 결합한 움직임 물체추출이 정확한 움직임 물체의 경계를 나타낼 수 있었다.
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        151.
        2010.02 KCI 등재 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        Desmoplastic ameloblastoma (DA) and Ameloblastic fibroma (AF) show common histopathologic features such as enamel organ like epithelial islands or cords on the background of abundant fibrous stroma. Despite their similar histopathologic features, it was reported that they have different pathogenesis and clinical behavior. The purpose of this study was to rev iew clinicopathologic features of DA and AF among Korean subjects. 7 cases of DA and 4 cases of AF were retrieved from the files of Seoul National University Dental Hospital (SNUDH), and their clinical features, radiographic findings, and histopathologic features were reviewed and compared. DA occurred in 3 males and 4 females. They occurred from 24 to 62 years of age, showing the mean age of 42.7 years. 5 of the 7 tumors occurred in the maxilla, and all of them in the anterior region, showing predilection for the maxillary anterior regions. There was no recurrence. Radiographically, they showed well demarcated unilocular or multilocular radiolucency. AF occurred in 5 males and 2 female. They occurred from 6 to 29 years of age, showing the mean age of 14 years. All tumors occurred in the mandibular molar area. Recurrence was recognized in 1 case. Although DA and AF showed similar histopathologic features, they showed different clinical behaviors. While DA showed predilection for the anterior maxilla, AF did for posterior mandible. While DA occurred mainly in adults, AF did in adolescents. Recurrence was recognized not in DA but in AF. Therefore, DA and AF should be differentiated from each other in spite of similar histopathologic findings
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        152.
        2009.12 KCI 등재 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        현재 실제 공간에서 발생되는 결과를 가상공간에서 입력 받아 수행되는 게임 시스템이 개발 되었다. 가상공간에서 벌어지는 다양한 내용들이 실제 공간에서 구현되는 시스템이 개발 되면 게임의 흥미는 매우 높을 것으로 기대 한다. 우리는 가상공간의 유닛들을 그대로 로봇으로 구성 하였고, 해당 로봇이 실제 공간에서 구동되고 그 결과가 가상 화면에서 구현되는 시스템을 개발 하였다. 본 논문에서는 가상공간의 내용이 실제 공간에 구현되는 전체 시스템을 소개한다. 본 논문에서 소개하는 내용은 가상공간의 유닛들의 실제 로봇으로 구현하는 하드웨어 시스템과 가상공간에서 구현되는 내용을 로봇과 통신하는 서버와 클라이언트 시스템이다. 본 논문에서 중요 요점으로 제안하는 서버 시스템과 클라이언트 시스템 그리고 로봇 MCU를 참조 한다면 가상공간과 실제 공간이 결합 되는 다양한 게임을 만들 수 있다고 판단 한다
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        153.
        2009.12 KCI 등재 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        실시간으로 여러 미디어 데이터와 사용사의 사운드, 동적 음악 파일등을 결합하여 하나의 프레임으로 생성하고 이것을 랜더링 하는 그래픽 랜더링은 매우 유용 하다. 우리는 과거 3년 동안 실시간 스트리밍 제작기 군고구마를 개발하여 왔으며, 현재 3.0 버전으로 업그레이드 중이다. 우리가 개발된 동영상 스티리밍 합성 편집기는 다중 미디어 객체를 실시간으로 합성하는 최적화된 알고리즘이 탑재 되어 있다. 이 랜더링 방법은 동적으로 구동이 가능하며 실시간 동영상 스트림을 출력 할 수 있다. 본 논문은 다중 멀티미디어 객체를 실시간으로 합성하고 랜더링 하는 최적화 알고리즘을 소개 한다. 제안하는 알고리즘은 여러 미디어 객체를 실시간으로 합성하여 호환 가능한 동영상 프레임으로 전환하고, 네트워크로 전송하는 방법을 포함한다.
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        154.
        2009.12 KCI 등재 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        조감도는 건축분야에서 준공을 위한 필수 서류 중의 하나이다. 이와는 전혀 별개로 생각되어왔던 수치지형도와 수치정사영상을 이용한 3차원 조감도가 디지털 시대에 중요한 공간인식의 도구로 자리를 잡아오고 있다. 본고는 조감도의 분류체계를 잡아보고 지도학적 애니메이션을 포함한 국내외의 영상정보 조감도 활용사례를 살펴보았다. 실제로 건설사와 지자체를 상대로한 조감도 및 위성영상활용사례에 대한 설문조사와 함께, 일반지도 성과심사의 대상 내용을 분석하여 조감도로서의 위성영상지도의 검수대사여부에 대한 문제점을 살펴보았다.
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        155.
        2009.10 KCI 등재 SCOPUS 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        Graphene has been effectively synthesized on Ni/SiO2/Si substrates with CH4 (1 SCCM) diluted in Ar/H2(10%) (99 SCCM) by using an inductively-coupled plasma-enhanced chemical vapor deposition. Graphene was formed on the entire surface of the 500 nm thick Ni substrate even at 700 ˚C, although CH4 and Ar/H2 gas were supplied under plasma of 600 W for 1 second. The Raman spectrum showed typical graphene features with D, G, and 2D peaks at 1356, 1584, and 2710 cm-1, respectively. With increase of growth temperature to 900 ˚C, the ratios of the D band intensity to the G band intensity and the 2D band intensity to the G band intensity were increased and decreased, respectively. The results were strongly correlated to a rougher and coarser Ni surface due to the enhanced recrystallization process at higher temperatures. In contrast, highquality graphene was synthesized at 1000 ˚C on smooth and large Ni grains, which were formed by decreasing Ni deposition thickness to 300 nm.
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        156.
        2009.09 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        The two dimensional quantitative structure-activity relationships (2D-QSARs) models concerning the binding affinity constants (p[Od.]50) between 2-cyclohexyltetrahydropyrane and 2-cyclohexyltetrahydrofurane analogues as substrates, and bovine odorant binding protein (bOBP) as receptor were derived by multiple regression analyses method and discussed. The statistical quality of the optimized 2D-QSAR model (5) was good (r=0.907). From the model, the binding affinity constants (p[Od.]50) were dependent upon the optimal value ((TL)opt.=2.737) of total lipole (TL) of substrate molecules. Based on these findings, the high active compounds predicted by optimized 2D-QSAR model (5) were 2-(dimethylcyclohexyl)tetrahydropyrane molecule and their isomer molecules. The binding affinity constants regarding bOBP of the tetrahydrofuryl-2-yl family compounds were dependent upon the hydrophobicity (logP) of whole substrate molecules. In any case of porcine odorant-binding proteins (pOBP), the constants were dependent upon the hydrophobicity (πx=logPx-logPH) of substituents (R) in substrate molecules. Also, from the optimal values of hydrophobic constant, the hydrophobicity for bOBP influenced ca. twice time bigger (bOBP>pOBP) than that for pOBP.
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        157.
        2009.08 KCI 등재 SCOPUS 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        We report on the capacitively coupled O2 plasma etching of PMMA and polycarbonate (PC) with a diffusion pump. Plasma process variables were process pressure and CCP power at 5 sccm O2 gas flow rate. Characterization was done in order to analyze etch rate, etch selectivity, surface roughness, and morphology using stylus surface profilometry and scanning electron microscopy. Self bias decreased with increase of process pressure in the range of 25~180 mTorr. We found an important result for optimum pressure for the highest etch rate of PMMA and PC, which was 60 mTorr. PMMA and PC had etch rates of 0.46 and 0.28 μm/min under pressure conditions, respectively. More specifically, etch rates of the materials increased when the pressure changed from 25 mTorr to 60 mTorr. However, they reduced when the pressure increased further after 60 mTorr. RMS roughnesses of the etched surfaces were in the range of 2.2~2.9 nm. Etch selectivity of PMMA to a photoresist was ~1.5:1 and that of PC was ~0.9:1. Etch rate constant was about 0.04 μm/minW and 0.02 μm/minW for PMMA and PC, respectively, with the CCP power change at 5 sccm O2 and 40 mTorr process pressure. PC had more erosion on the etched sidewall than PMMA did. The OES data showed that the intensity of the oxygen atomic peak (777.196 nm) proportionally increased with the CCP power.
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        158.
        2009.08 KCI 등재 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        최근에 Active interaction control(AIC) 시스템이 준능동 제어 시스템의 하나로 제안되었다. AIC 시스템은 제어 대상 구조물과 보조 구조물로 구성되며, 두 구조물간의 실시간 결합-분리를 통해서 제어 대상 구조물을 제어하게 된다. 구조물간의 결합과 분리를 담당하는 장치의 실시간 변환은 스위칭 제어 알고리듬의 결합-분리 조건식에 의해 제어된다. 기존 스위칭 제어 알고리듬의 경우, 제어 대상 구조물의 응답을 효과적으로 감소시키는 반면 불필요하게 큰 제어력과 과도한 결합-분리 횟수를 필요로 하는 단점을 가지고 있다. 본 논문에서는 구조물간의 효율적인 결합-분리 조정을 위해서 스위칭 활성화 영역과 스위칭 비활성화 영역을 분리 표현하였으며, 결합-조건식에 의해 결정되는 스위칭 활성화 영역과 스위칭 비활성화 영역간의 일반적인 관계를 포괄 스위칭 틀을 이용하여 나타냈다. 과도한 결합-분리 횟수와 불필요하게 큰 제어력의 효과적인 감소를 위해서 새로운 스위칭 제어 알고리듬의 결합-분리 조건식은 포괄 스위칭 틀안에서 설계되었다. 또한 기존 논문에서 사용된 컨트롤 샘플링 주기(Control sampling period)의 역할을 결합-분리 횟수의 관점에서 재해석하였다. 제안된 알고리듬의 효용성과 컨트롤 샘플링 주기의 역할을 검증하기 위해서 단자유도 모델을 이용하여 자유진동에 대한 수치해석을 수행하였다. 수치해석결과, 총 스위칭 횟수를 감소시키기 위한 컨트롤 샘플링 주기의 인위적인 연장은 시스템의 제어 성능 향상에 필요한 구간 변환을 샘플링 주기 사이에서 억제시키는 단점을 가지고 있음을 확인하였다. 본 논문에서 제안된 알고리듬의 경우, 각각 과도한 결합-분리 횟수와 불필요하게 큰 제어력을 감소시키는데 효과적임을 알 수 있다.
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        159.
        2009.03 KCI 등재 SCOPUS 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        This study investigates GaAs dry etching in capacitively coupled BCl3/N2 plasma at a low vacuum pressure (>100 mTorr). The applied etch process parameters were a RIE chuck power ranging from 100~200W on the electrodes and a N2 composition ranging from 0~100% in BCl3/N2 plasma mixtures. After the etch process, the etch rates, RMS roughness and etch selectivity of the GaAs over a photoresist was investigated. Surface profilometry and field emission-scanning electron microscopy were used to analyze the etch characteristics of the GaAs substrate. It was found that the highest etch rate of GaAs was 0.4μm/min at a 20 % N2 composition in BCl3/N2 (i.e., 16 sccm BCl3/4 sccm N2). It was also noted that the etch rate of GaAs was 0.22μm/min at 20 sccm BCl3 (100 % BCl3). Therefore, there was a clear catalytic effect of N2 during the BCl3/N2 plasma etching process. The RMS roughness of GaAs after etching was very low (~3nm) when the percentage of N2 was 20 %. However, the surface roughness became rougher with higher percentages of N2.
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        160.
        2009.02 KCI 등재 SCOPUS 구독 인증기관 무료, 개인회원 유료
        This study investigated dry etching of acrylic in capacitively coupled SF6, SF6/O2 and SF6/CH4 plasma under a low vacuum pressure. The process pressure was 100 mTorr and the total gas flow rate was fixed at 10 sccm. The process variables were the RIE chuck power and the plasma gas composition. The RIE chuck power varied in the range of 25~150 W. SF6/O2 plasma produced higher etch rates of acrylic than pure SF6 and O2 at a fixed total flow rate. 5 sccm SF6/5 sccm O2 provided 0.11μm/min and 1.16μm/min at 25W and 150W RIE of chuck power, respectively. The results were nearly 2.9 times higher compared to those at pure SF6 plasma etching. Additionally, mixed plasma of SF6/CH4 reduced the etch rate of acrylic. 5 sccm SF6/5 sccm CH4 plasma resulted in 0.02μm/min and 0.07μm/min at 25W and 150W RIE of chuck power. The etch selectivity of acrylic to photoresist was higher in SF6/O2 plasma than in pure SF6 or SF6/CH4 plasma. The maximum RMS roughness (7.6 nm) of an etched acrylic surface was found to be 50% O2 in SF6/O2 plasma. Besides the process regime, the RMS roughness of acrylic was approximately 3~4 nm at different percentages of O2 with a chuck power of 100W RIE in SF6/O2 plasma etching.
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